| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第1章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 引言 | 第7-9页 |
| 1.2 ZnO基本性质 | 第9-10页 |
| 1.3 氧化锌的p型掺杂研究 | 第10-15页 |
| 1.3.1 Ⅰ族元素掺杂 | 第11-12页 |
| 1.3.2 Ⅴ族元素掺杂 | 第12-14页 |
| 1.3.3 施主受主共掺杂 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 热氧化法制备Al-N共掺杂ZnO | 第17-31页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 Zn_3N_2:Al薄膜的制备 | 第17-19页 |
| 2.3 测试与分析 | 第19-30页 |
| 2.3.1 XRD测试与分析 | 第19-23页 |
| 2.3.2 光学吸收测试与分析 | 第23-26页 |
| 2.3.3 光致发光测试与分析 | 第26-27页 |
| 2.3.4 Hall效应测试与分析 | 第27-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 沉积温度对Al-N共掺杂ZnO的影响 | 第31-41页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 不同沉积温度Al-N共掺杂氧化锌薄膜的制备 | 第31-32页 |
| 3.3 不同沉积温度Al-N共掺杂氧化锌薄膜的测试与分析 | 第32-39页 |
| 3.3.1 XRD测试与分析 | 第32-35页 |
| 3.3.2 光学性能测试与分析 | 第35-37页 |
| 3.3.3 Hall效应测试与分析 | 第37-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 N_2分压及退火对Al-N共掺杂ZnO的影响 | 第41-49页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 不同N_2分压掺杂薄膜样品的制备 | 第41-42页 |
| 4.3 不同N_2分压掺杂薄膜样品测试与分析 | 第42-47页 |
| 4.3.1 XRD测试与分析 | 第42-43页 |
| 4.3.2 光学性能测试与分析 | 第43-45页 |
| 4.3.3 电学性能测试与分析 | 第45-47页 |
| 4.4 退火对电学性能的影响 | 第47-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 攻读学位期间发表的论文及其他成果 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
