基于静电驱动的微细电火花电解复合加工工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 研究背景及国内外研究现状 | 第8-12页 |
| 1.1.1 微细电火花加工技术 | 第8-9页 |
| 1.1.2 微细电解加工技术 | 第9-10页 |
| 1.1.3 ECDM加工技术 | 第10-11页 |
| 1.1.4 精密伺服加工装置 | 第11-12页 |
| 1.2 课题研究的目的和意义 | 第12页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 静电驱动结构平面电极的研究与设计 | 第14-29页 |
| 2.1 静电驱动的基本原理 | 第14-15页 |
| 2.2 平面电极的结构设计 | 第15-17页 |
| 2.2.1 电极的结构形状设计 | 第15-16页 |
| 2.2.2 平面电极的固定结构 | 第16页 |
| 2.2.3 电极材料的选择 | 第16-17页 |
| 2.3 静电驱动平面电极的理论分析 | 第17-22页 |
| 2.3.1 静电驱动微结构的静电力 | 第17-18页 |
| 2.3.2 静电驱动平面电极的力学分析 | 第18-20页 |
| 2.3.3 静电驱动平行板微结构失稳的控制 | 第20-22页 |
| 2.4 平面电极的基本参数仿真 | 第22-26页 |
| 2.4.1 仿真环境和模型的建立 | 第22-24页 |
| 2.4.2 平面电极的长度与形变位移量的关系 | 第24页 |
| 2.4.3 平面电极的厚度与形变位移量的关系 | 第24-25页 |
| 2.4.4 平面电极的宽度与形变位移量的关系 | 第25-26页 |
| 2.4.5 极板间隙与形变位移量的关系 | 第26页 |
| 2.5 平面电极的参数设计 | 第26-27页 |
| 2.6 平面电极的加工 | 第27-28页 |
| 2.7 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 静电驱动ECDM加工机理分析及装置设计 | 第29-41页 |
| 3.1 静电驱动ECDM加工装置设计 | 第29-30页 |
| 3.2 静电驱动ECDM加工过程分析 | 第30-33页 |
| 3.2.1 静电驱动的微驱动加工工艺 | 第30-31页 |
| 3.2.2 静电驱动的ECDM加工过程 | 第31-33页 |
| 3.3 小间隙火花放电的机理分析 | 第33-34页 |
| 3.3.1 极间介质的击穿和放电通道的形成 | 第33页 |
| 3.3.2 极间能量的转换 | 第33-34页 |
| 3.4 大范围电解的机理分析 | 第34-36页 |
| 3.4.1 双电层模型 | 第34-35页 |
| 3.4.2 阳极的极化分析 | 第35-36页 |
| 3.5 ECDM的机理分析 | 第36-38页 |
| 3.5.1 极间介质的消电离 | 第36-37页 |
| 3.5.2 ECDM的加工间隙研究 | 第37-38页 |
| 3.6 静电驱动ECDM加工方式的排屑分析 | 第38-40页 |
| 3.6.1 废屑粒子的运动状态分析 | 第39-40页 |
| 3.7 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 加工实验 | 第41-56页 |
| 4.1 可行性加工实验 | 第41-46页 |
| 4.1.1 悬臂梁加工实验 | 第41-43页 |
| 4.1.2 一端固定一端支撑加工实验 | 第43-44页 |
| 4.1.3 加工效率对比分析 | 第44-46页 |
| 4.2 静电驱动ECDM加工实验 | 第46-54页 |
| 4.2.1 ECDM加工的实验装置 | 第46页 |
| 4.2.2 电解液的选择 | 第46-47页 |
| 4.2.3 浓度对比加工实验 | 第47-49页 |
| 4.2.4 极间电压加工实验 | 第49-52页 |
| 4.2.5 电极参数的对比加工实验 | 第52-53页 |
| 4.2.6 二维字符的应用性加工实验 | 第53-54页 |
| 4.2.7 阵列轴的应用性加工实验 | 第54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
