| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 太阳电池与光伏发电应用 | 第10-14页 |
| 1.1.1 太阳电池与光伏发电 | 第10-11页 |
| 1.1.2 太阳电池及光伏发电国内外发展现状 | 第11-14页 |
| 1.2 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池钝化层研究 | 第14-20页 |
| 1.2.1 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池钝化层制备 | 第14-18页 |
| 1.2.1.1 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池钝化层材料 | 第14-15页 |
| 1.2.1.2 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池钝化层制备方法 | 第15-18页 |
| 1.2.2 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池钝化层国内外研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池结构及发展 | 第20-23页 |
| 1.3.1 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池概述及主要结构 | 第20-21页 |
| 1.3.2 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池国内外发展现状 | 第21-23页 |
| 1.4 本文的研究目的和主要内容 | 第23-24页 |
| 第2章 热过程对PECVD法制备非晶硅/晶体硅异质结太阳电池钝化层的影响 | 第24-48页 |
| 2.1 引言 | 第24-25页 |
| 2.2 实验方法 | 第25-28页 |
| 2.2.1 实验试样与材料 | 第25页 |
| 2.2.2 制备及检测设备 | 第25-26页 |
| 2.2.3 样品准备及实验过程 | 第26-28页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第28-47页 |
| 2.3.1 热过程对钝化层氢化非晶硅（α-Si:H）钝化性能的影响 | 第28-34页 |
| 2.3.1.1 n-Cz-Si双面室温沉积α-Si:H膜 | 第28-30页 |
| 2.3.1.2 热处理温度对α-Si:H膜钝化性能影响 | 第30-34页 |
| 2.3.2 热过程对钝化层氢化非晶氧化硅（α-SiO_x:H）钝化性能的影响 | 第34-47页 |
| 2.3.2.1 沉积衬底温度对α-SiO_x:H膜钝化性能影响 | 第34-39页 |
| 2.3.2.2 热处理温度对α-SiO_x:H膜钝化性能影响 | 第39-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 HWCVD法制备非晶硅/晶体硅异质结太阳电池钝化层工艺优化 | 第48-72页 |
| 3.1 引言 | 第48页 |
| 3.2 实验方法 | 第48-51页 |
| 3.2.1 实验试样与材料 | 第48-50页 |
| 3.2.2 制备及检测设备 | 第50-51页 |
| 3.2.3 样品准备及实验过程 | 第51页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第51-70页 |
| 3.3.1 HWCVD法沉积钝化层氢化非晶硅（α-Si:H）的工艺优化 | 第51-62页 |
| 3.3.1.1 沉积气压对α-Si:H膜钝化性能的影响 | 第51-56页 |
| 3.3.1.2 沉积电流对α-Si:H膜钝化性能的影响 | 第56-60页 |
| 3.3.1.3 SiH_4流量对α-Si:H膜钝化性能的影响 | 第60-62页 |
| 3.3.2 HWCVD法沉积钝化层氢化非晶氧化硅的工艺优化 | 第62-70页 |
| 3.3.2.1 CO_2流量对α-SiO_x:H膜钝化性能的影响 | 第62-64页 |
| 3.3.2.2 H_2流量对α-SiO_x:H膜钝化性能的影响 | 第64-66页 |
| 3.3.2.3 SiH_4流量对α-SiO_x:H膜钝化性能的影响 | 第66-67页 |
| 3.3.2.4 电流对α-SiO_x:H膜钝化性能的影响 | 第67-70页 |
| 3.4 本章小节 | 第70-72页 |
| 第4章 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池结构设计与制备 | 第72-90页 |
| 4.1 引言 | 第72-73页 |
| 4.2 实验方法 | 第73-75页 |
| 4.2.1 实验试样与材料 | 第73页 |
| 4.2.2 制备及检测设备 | 第73页 |
| 4.2.3 样品准备及实验过程 | 第73-75页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第75-88页 |
| 4.3.1 非晶体/晶体硅异质结太阳电池其他主要工艺优化 | 第75-80页 |
| 4.3.1.1 透明导电氧化物ITO膜工艺优化 | 第75-76页 |
| 4.3.1.2 n型掺杂非晶硅薄膜工艺优化 | 第76-79页 |
| 4.3.1.3 p型掺杂非晶硅薄膜工艺优化 | 第79-80页 |
| 4.3.2 非晶体/晶体硅异质结太阳电池结构研究 | 第80-88页 |
| 4.3.2.1 非晶体/晶体硅异质结太阳电池结构理论模拟 | 第80-81页 |
| 4.3.2.2 双层发射极及背电场非晶体/晶体硅异质结太阳电池实验研究 | 第81-82页 |
| 4.3.2.3 双层发射极非晶体/晶体硅异质结太阳电池研究 | 第82-84页 |
| 4.3.2.4 扩散c-Si背场异质结太阳电池研究 | 第84-88页 |
| 4.4 本章小节 | 第88-90页 |
| 第5章 总结与展望 | 第90-92页 |
| 5.1 研究结论 | 第90-91页 |
| 5.2 本文创新点 | 第91页 |
| 5.3 下一步工作展望 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-106页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第106页 |
