基于激光跟踪仪的大口径非球面镜在位检测技术研究
摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第11-29页 |
1.1 课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
1.2 大口径非球面镜检测方法 | 第12-25页 |
1.2.1 研磨阶段检测手段 | 第12-17页 |
1.2.2 抛光阶段面形检测技术 | 第17-24页 |
1.2.3 检测方法总结 | 第24-25页 |
1.3 国内外激光跟踪仪研究现状 | 第25-27页 |
1.4 本论文研究内容 | 第27-29页 |
第2章 激光跟踪仪面形检测原理与误差分析 | 第29-45页 |
2.1 激光跟踪仪测量原理简介 | 第29-31页 |
2.2 大口径非球面镜面形检测原理 | 第31-34页 |
2.3 大口径非球面镜测量误差分析 | 第34-44页 |
2.3.1 测距误差分析 | 第34-35页 |
2.3.2 测角误差分析 | 第35-37页 |
2.3.3 几何误差分析 | 第37-40页 |
2.3.4 测量靶球误差分析 | 第40-43页 |
2.3.5 测量环境误差 | 第43-44页 |
2.4 本章小结 | 第44-45页 |
第3章 大口径检测中激光跟踪仪角度误差补偿 | 第45-69页 |
3.1 角度误差标定方案 | 第45-46页 |
3.2 测角误差矫正原理 | 第46-48页 |
3.3 补偿方法的仿真分析 | 第48-54页 |
3.3.1 母线与米字格采样分析 | 第48-52页 |
3.3.2 角度误差重构仿真计算 | 第52-54页 |
3.4 标定实验误差分析 | 第54-58页 |
3.4.1 采样位置误差 | 第54-55页 |
3.4.2 随机误差 | 第55-58页 |
3.5 检测系统误差标定 | 第58-67页 |
3.5.1 搭建标定实验平台 | 第58-61页 |
3.5.2 母线扫描采样标定 | 第61-66页 |
3.5.3 标定误差不确定度分析 | 第66-67页 |
3.6 本章小结 | 第67-69页 |
第4章 大口径非球面镜自动检测系统 | 第69-87页 |
4.1 二维平移机构设计 | 第69-80页 |
4.1.1 理论仿真分析 | 第71-73页 |
4.1.2 实验方案设计 | 第73-77页 |
4.1.3 平移机构测试 | 第77-80页 |
4.2 自动测量控制程序开发 | 第80-82页 |
4.3 大口径反射镜自动测量及矫正分析 | 第82-85页 |
4.4 本章小结 | 第85-87页 |
第5章 总结与展望 | 第87-89页 |
5.1 论文的主要研究成果及创新点 | 第87-88页 |
5.2 工作展望 | 第88-89页 |
参考文献 | 第89-97页 |
在学期间学术成果情况 | 第97-99页 |
指导教师及作者简介 | 第99-101页 |
致谢 | 第101页 |