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基于激光跟踪仪的大口径非球面镜在位检测技术研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第11-29页
    1.1 课题研究背景及意义第11-12页
    1.2 大口径非球面镜检测方法第12-25页
        1.2.1 研磨阶段检测手段第12-17页
        1.2.2 抛光阶段面形检测技术第17-24页
        1.2.3 检测方法总结第24-25页
    1.3 国内外激光跟踪仪研究现状第25-27页
    1.4 本论文研究内容第27-29页
第2章 激光跟踪仪面形检测原理与误差分析第29-45页
    2.1 激光跟踪仪测量原理简介第29-31页
    2.2 大口径非球面镜面形检测原理第31-34页
    2.3 大口径非球面镜测量误差分析第34-44页
        2.3.1 测距误差分析第34-35页
        2.3.2 测角误差分析第35-37页
        2.3.3 几何误差分析第37-40页
        2.3.4 测量靶球误差分析第40-43页
        2.3.5 测量环境误差第43-44页
    2.4 本章小结第44-45页
第3章 大口径检测中激光跟踪仪角度误差补偿第45-69页
    3.1 角度误差标定方案第45-46页
    3.2 测角误差矫正原理第46-48页
    3.3 补偿方法的仿真分析第48-54页
        3.3.1 母线与米字格采样分析第48-52页
        3.3.2 角度误差重构仿真计算第52-54页
    3.4 标定实验误差分析第54-58页
        3.4.1 采样位置误差第54-55页
        3.4.2 随机误差第55-58页
    3.5 检测系统误差标定第58-67页
        3.5.1 搭建标定实验平台第58-61页
        3.5.2 母线扫描采样标定第61-66页
        3.5.3 标定误差不确定度分析第66-67页
    3.6 本章小结第67-69页
第4章 大口径非球面镜自动检测系统第69-87页
    4.1 二维平移机构设计第69-80页
        4.1.1 理论仿真分析第71-73页
        4.1.2 实验方案设计第73-77页
        4.1.3 平移机构测试第77-80页
    4.2 自动测量控制程序开发第80-82页
    4.3 大口径反射镜自动测量及矫正分析第82-85页
    4.4 本章小结第85-87页
第5章 总结与展望第87-89页
    5.1 论文的主要研究成果及创新点第87-88页
    5.2 工作展望第88-89页
参考文献第89-97页
在学期间学术成果情况第97-99页
指导教师及作者简介第99-101页
致谢第101页

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