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纳米压痕仪的校准及标物的研制

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-12页
第一章 绪论第12-22页
   ·课题研究的背景第12-15页
     ·纳米压痕力学测量技术的发展背景第12-13页
     ·纳米压痕力学测量技术的应用第13-15页
   ·纳米压入技术的发展状况第15-18页
   ·纳米压痕仪校准的研究意义第18-19页
   ·课题选题依据和主要内容第19-22页
     ·课题的提出第19-20页
     ·课题主要研究内容第20-22页
第二章 纳米压痕力学测量技术的原理及影响因素第22-28页
   ·纳米压痕技术的测试原理第22-24页
   ·纳米压痕技术测试的几种压头类型第24-25页
   ·影响纳米压痕技术测试准确性的主要因素第25-27页
     ·环境因素的影响第25页
     ·压头的几何形状的影响第25-26页
     ·接触零点不确定度的影响第26页
     ·其他因素的影响第26-27页
   ·本章小结第27-28页
第三章 仪器机架柔度的校准第28-34页
   ·仪器柔度校准的原理第28-29页
   ·仪器柔度校准的基本方法第29页
     ·基于熔融石英标准块的校准方法第29页
     ·基于单晶坞标样的校准方法第29页
   ·仪器柔度校准结果分析第29-31页
   ·两种校准方法的对比分析第31-32页
   ·本章小结第32-34页
第四章 压头面积函数的校准第34-44页
   ·压头面积函数的校准的意义第34页
   ·基于熔融石英标准块的间接校准法第34-35页
   ·基于原子力显微镜扫描的直接校准法第35-39页
     ·原子力显微镜扫描原理第35-36页
     ·玻氏压头面积函数的扫描实验第36页
     ·原子力显微镜扫描结果的误差分析第36-38页
     ·原子力显微镜针尖曲率半径对压针几何形状影响的去除第38-39页
   ·两种面积函数校准方法的比较第39-43页
     ·纳米压痕测试实验第39页
     ·测试结果的比较和分析第39-43页
   ·本章小结第43-44页
第五章 标物的研制第44-62页
   ·标物研制意义第44-45页
   ·标准物质候选物的选取第45-46页
     ·标物候选物的选择原则第45页
     ·标准物质候选物的确定第45-46页
   ·标准物质的定值检验第46-56页
     ·定值设备及定值条件第46-47页
     ·标准物质均匀性检验第47-48页
     ·熔融石英折合模量均匀性检验第48-50页
     ·熔融石英压入硬度均匀性检验第50-51页
     ·聚碳酸酯折合模量均匀性检验第51页
     ·聚碳酸酯压入硬度均匀性检验第51-52页
     ·标准物质稳定性考察第52-55页
     ·测量重复性第55-56页
   ·标准物质的定值不确定度第56-59页
     ·不确定度来源分析第57-58页
     ·合成不确定度第58页
     ·扩展不确定度第58-59页
   ·标物定值第59-60页
   ·与NPL标准物质测量结果比较第60-61页
   ·本章小结第61-62页
第六章 全文总结与展望第62-64页
   ·全文总结第62-63页
   ·展望第63-64页
参考文献第64-68页
致谢第68-70页
附录 熔融石英和聚碳酸酯纳米压入硬度和折合模量仪器测量不确定度评定第70-78页
 1.熔融石英的压入硬度和折合模量仪器测量不确定度第70-76页
   ·最大加载力相对不确定度评定第70-72页
   ·压针面积函数相对不确定度评定第72-75页
   ·接触刚度不确定度的评定第75-76页
   ·熔融石英压入硬度和折合模量仪器测量的相对不确定度评定第76页
 2.聚碳酸酯压入硬度和折合模量仪器测量相对不确定度评定第76-78页
攻读硕士期间发表的学术论文第78页

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