| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 英文缩写及主要符号对照表 | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| ·MEMS 应变传感测量技术的研究意义 | 第12-17页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·应变测量技术的发展现状 | 第12-17页 |
| ·亟待解决的问题 | 第17-18页 |
| ·本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 基于模式转换原理的声表面波 MOEMS 应变传感系统 | 第20-48页 |
| ·微光机电MOEMS 应变传感器的基本结构方案 | 第20-21页 |
| ·声表面波应变传感 | 第21-30页 |
| ·声表面波获取应变信息 | 第21-23页 |
| ·声表面波器件的性能参数及基底材料的选择 | 第23-25页 |
| ·声表面波的激励与叉指换能器的设计 | 第25-30页 |
| ·声光耦合作用理论基础 | 第30-39页 |
| ·声光作用的光栅理论 | 第30-34页 |
| ·偏振模式转换的耦合模理论 | 第34-39页 |
| ·最佳工作点的设置 | 第39-42页 |
| ·光输出及探测原理 | 第42-47页 |
| ·光输出信号 | 第43-44页 |
| ·光探测及光信号解调原理 | 第44-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 SAW-MOEMS 应变传感器方案中的参数设计与分析 | 第48-57页 |
| ·结构参数设计 | 第48-53页 |
| ·光波导的设计 | 第48-51页 |
| ·声功率的设定 | 第51-53页 |
| ·传感器的影响因素分析 | 第53-56页 |
| ·光刻精度 | 第53-54页 |
| ·IDT 驱动频率 | 第54-55页 |
| ·电压波动 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·论文工作总结 | 第57页 |
| ·未来工作展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |