基于激光干涉反馈的大行程二维精密定位系统
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-11页 |
| ·二维精密定位技术国内外发展现状 | 第11-14页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 二维精密定位系统方案设计与研究 | 第16-39页 |
| ·系统原理及构成 | 第16-17页 |
| ·精密定位系统构建 | 第17-28页 |
| ·余气可回收式气体静压导轨 | 第17-20页 |
| ·驱动方式设计 | 第20-26页 |
| ·反馈方式选择 | 第26-28页 |
| ·基于激光干涉仪的测量反馈系统 | 第28-33页 |
| ·激光干涉测量原理及光路设计 | 第28-31页 |
| ·环境干扰及补偿方法 | 第31-33页 |
| ·X-Y二维精密定位系统结构 | 第33-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 精密定位及二维扫描控制方式设计 | 第39-54页 |
| ·精密定位控制方式 | 第39-48页 |
| ·PID控制原理 | 第39-42页 |
| ·安川伺服控制器控制原理及PID参数整定 | 第42-46页 |
| ·分段逐次逼近循环补偿闭环控制方式 | 第46-48页 |
| ·X-Y二维扫描控制方式设计 | 第48-53页 |
| ·二维扫描方式设计 | 第48-49页 |
| ·等间距闭环扫描控制方式 | 第49-51页 |
| ·等时长采样扫描控制方式 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 二维精密扫描系统测控软件设计 | 第54-64页 |
| ·测控系统组成 | 第54-55页 |
| ·测控系统软件设计 | 第55-63页 |
| ·测控系统软件主体框架 | 第55-56页 |
| ·测控系统软件编译 | 第56-59页 |
| ·基于多线程技术的精密定位软件设计 | 第59-61页 |
| ·基于事件触发技术的二维扫描测控软件设计 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 二维精密定位系统实验验证 | 第64-74页 |
| ·X-Y轴定位精度及重复性实验 | 第64-68页 |
| ·光栅样品一维扫描实验 | 第68-71页 |
| ·光栅样品二维扫描实验 | 第71-72页 |
| ·实验过程误差分析 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
