基于SU-8的单纤三向波分复用器的设计与制作
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目次 | 第9-11页 |
| 图清单 | 第11-12页 |
| 表清单 | 第12-13页 |
| 1 绪论 | 第13-20页 |
| ·研究背景 | 第13-14页 |
| ·Triplexer 的研究进展 | 第14-17页 |
| ·Triplexer 简介 | 第14-15页 |
| ·Triplexer 的发展趋势 | 第15-16页 |
| ·Triplexer 发展现状 | 第16页 |
| ·Triplexer 的实现方式 | 第16-17页 |
| ·聚合物材料在光集成器件中的优势 | 第17-18页 |
| ·论文主要研究内容和意义 | 第18-20页 |
| ·主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·研究意义 | 第19-20页 |
| 2 AWG 基本原理 | 第20-30页 |
| ·AWG 性能测试的参数 | 第20-22页 |
| ·串扰 | 第20-21页 |
| ·3-dB 带宽 | 第21页 |
| ·偏振态偏移（PD ）和偏振相关损耗（PDL） | 第21-22页 |
| ·AWG 设计过程 | 第22-28页 |
| ·波导结构的确定 | 第22-23页 |
| ·包层和芯层的有效折射率求解 | 第23-25页 |
| ·越级衍射原理及中心波长的确定 | 第25-27页 |
| ·自由传输区长度和阵列波导数的计算 | 第27页 |
| ·输出通道间隔的计算 | 第27-28页 |
| ·Triplexer 的设计参数 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 3 Triplexer 的几何结构及仿真模拟 | 第30-43页 |
| ·Triplexer 的模拟理论 | 第30-33页 |
| ·初始参数的确定 | 第30页 |
| ·Triplexer 的模拟流程 | 第30-33页 |
| ·Triplexer 的仿真及分析 | 第33-37页 |
| ·Triplexer 的几何结构设计 | 第37-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 Triplexer 的制作工艺 | 第43-53页 |
| ·SU-8 聚合物的选取 | 第43-46页 |
| ·工艺流程 | 第46-50页 |
| ·工艺关键技术 | 第50-52页 |
| ·匀胶机涂胶确定 SU-8 厚度 | 第50-51页 |
| ·紫外光 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 Triplexer 的性能测试及分析 | 第53-61页 |
| ·器件测试系统简介 | 第53-55页 |
| ·光谱采集方法 | 第54页 |
| ·可调谐激光器 | 第54页 |
| ·Triplexer 性能测试 | 第54-55页 |
| ·光谱的分析 | 第55-59页 |
| ·系统存在问题及分析 | 第59-60页 |
| ·SU-8 性质对器件的影响 | 第59-60页 |
| ·解离对器件的影响 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 总结与展望 | 第61-63页 |
| ·总结 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 作者简历 | 第67页 |
