| 符号简写说明 | 第1-13页 |
| 摘要 | 第13-15页 |
| ABSTRACT | 第15-18页 |
| 第1章 绪论 | 第18-44页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·铁电薄膜简介 | 第19-20页 |
| ·铁电薄膜的研究现状和发展趋势 | 第20-23页 |
| ·铁电薄膜制备技术的发展及应用水平 | 第23-30页 |
| ·磁控溅射技术及其在铁电薄膜制备中的应用 | 第23-28页 |
| ·其它镀膜技术在铁电薄膜制备中的应用 | 第28-30页 |
| ·铁电薄膜理论的研究进展和存在的问题 | 第30-34页 |
| ·钙钛矿型铁电薄膜及其取向生长研究概况 | 第34-41页 |
| ·钙钛矿型铁电薄膜的结构特点 | 第34-35页 |
| ·钙钛矿型铁电薄膜的取向研究 | 第35-41页 |
| ·本课题研究的意义及主要内容 | 第41-44页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第41页 |
| ·本课题研究的主要内容 | 第41-44页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征 | 第44-52页 |
| ·薄膜样品的制备 | 第44-45页 |
| ·实验材料 | 第44页 |
| ·研究方法 | 第44-45页 |
| ·微观结构表征 | 第45-47页 |
| ·晶体结构分析 | 第45-46页 |
| ·微观形貌分析 | 第46页 |
| ·电畴结构分析 | 第46-47页 |
| ·电学性能测试 | 第47-52页 |
| ·铁电性能 | 第48-49页 |
| ·介电性能 | 第49页 |
| ·压电性能 | 第49-52页 |
| 第3章 BaTiO_3薄膜结晶结构与溅射工艺研究 | 第52-72页 |
| ·溅射工艺对BTO薄膜晶体结构的影响 | 第52-60页 |
| ·溅射功率的影响 | 第53-56页 |
| ·溅射气压的影响 | 第56-58页 |
| ·镀膜气氛的影响 | 第58-60页 |
| ·优化工艺下薄膜厚度对其性能的影响 | 第60-64页 |
| ·BTO外延薄膜多畴结构的设计与制备 | 第64-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第4章 界面控制的BaTiO_3铁电薄膜 | 第72-104页 |
| ·不同底电极类型对BaTiO_3薄膜的影响 | 第72-79页 |
| ·BTO/BE/MgO异质结构的微观结构特征 | 第73-77页 |
| ·BTO/BE/MgO异质结构的电学性能 | 第77-79页 |
| ·不同氧化物底电极的界面调控作用 | 第79-94页 |
| ·BTO/OBE/STO异质结构的晶体结构 | 第79-80页 |
| ·BTO/OBE/STO异质结构的介电性能 | 第80-83页 |
| ·BTO/OBE/STO异质结构的铁电性能 | 第83-84页 |
| ·BTO/OBE/STO异质结构的漏电传输特性 | 第84-91页 |
| ·BTO/OBE/STO异质结构的界面空间电荷的理论分析 | 第91-94页 |
| ·不同单晶基底材料对BaTiO_3薄膜的影响 | 第94-103页 |
| ·BTO/LSCO/Sub异质结构的晶体结构 | 第95-96页 |
| ·BTO/LSCO/Sub异质结构的介电绝缘性 | 第96-99页 |
| ·BTO/LSCO/Sub异质结构的压电性能 | 第99-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 第5章 取向控制的BaTiO_3铁电薄膜 | 第104-120页 |
| ·单晶基底取向对BaTiO_3薄膜的影响 | 第104-112页 |
| ·晶体结构 | 第104-106页 |
| ·介电特性 | 第106-108页 |
| ·铁电特性 | 第108-110页 |
| ·LAO及MgO基底取向对BTO薄膜取向生长的影响 | 第110-112页 |
| ·底电极织构取向对BaTi03薄膜的影响 | 第112-117页 |
| ·晶体结构 | 第113-116页 |
| ·介电特性 | 第116-117页 |
| ·本章小结 | 第117-120页 |
| 第6章 BaTiO_3-SrTiO_3超晶格纳米复合薄膜 | 第120-130页 |
| ·BTO-STO非对称超晶格 | 第121-126页 |
| ·实验设计 | 第121-122页 |
| ·晶体结构 | 第122-123页 |
| ·介电绝缘特性 | 第123-126页 |
| ·BTO-STO对称超晶格 | 第126-129页 |
| ·实验设计 | 第126页 |
| ·微观结构 | 第126-128页 |
| ·介电性能 | 第128-129页 |
| ·本章小结 | 第129-130页 |
| 第7章 PZT铁电薄膜异质结构压电性能的理论研究 | 第130-142页 |
| ·压电理论模型的建立 | 第130-135页 |
| ·Pb(Zr_(0.48)Ti_(0.52))O_3铁电薄膜压电常数的理论计算 | 第135-140页 |
| ·Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3铁电薄膜压电常数的理论计算 | 第140-141页 |
| ·本章小结 | 第141-142页 |
| 第8章 结论与展望 | 第142-146页 |
| ·结论 | 第142-143页 |
| ·展望 | 第143-144页 |
| ·主要创新点 | 第144-146页 |
| 参考文献 | 第146-170页 |
| 致谢 | 第170-172页 |
| 附录Ⅰ 攻读博士期间发表的论文和取得的成果 | 第172-176页 |
| 附录Ⅱ 第七章中理论计算所用Matlab程序 | 第176-186页 |
| 附件 | 第186-198页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第198页 |
