| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| Chapter 1 General introduction | 第10-17页 |
| ·Introduction | 第10-11页 |
| ·Laser-produced plasma as EUV lithography sources | 第11-12页 |
| ·Inner-shell photoabsorption of ions | 第12-13页 |
| ·Outline | 第13-15页 |
| Reference | 第15-17页 |
| Chapter 2 Background | 第17-35页 |
| ·Plasma Fundamentals | 第17-26页 |
| ·The nature of Plasmas | 第17页 |
| ·Plasma spectroscopy | 第17-22页 |
| ·Laser-produced plasmas(LPP) | 第22-24页 |
| ·Analysis in LPP spectroscopy | 第24-25页 |
| ·Radiation features of mid- and high-Z plasmas | 第25-26页 |
| ·Atomic physics in plasmas | 第26-32页 |
| ·Atomic processes in plasmas | 第26-28页 |
| ·The unresolved transition array(UTA) | 第28-29页 |
| ·Autoionisation | 第29-30页 |
| ·4d-εf shape resonances | 第30-31页 |
| ·Wavefunction collapse | 第31-32页 |
| ·Summary | 第32-33页 |
| Reference | 第33-35页 |
| Chapter 3 Theoretical methods | 第35-45页 |
| ·Atomic structure calculations | 第35-38页 |
| ·Ion fraction calculations of laser-produced plasmas | 第38-43页 |
| ·LTE model | 第40页 |
| ·CE model | 第40-41页 |
| ·CR model | 第41-43页 |
| ·Summary | 第43-44页 |
| Reference | 第44-45页 |
| Chapter 4 Experiments methods | 第45-52页 |
| ·The Dual Laser Plasma(DLP) technique | 第45-47页 |
| ·The description of the DLP technique | 第45-46页 |
| ·The features of the DLP technique | 第46-47页 |
| ·Spectron laser | 第47页 |
| ·Jenoptik 0.25 m system | 第47-50页 |
| ·Summary | 第50-51页 |
| Reference | 第51-52页 |
| Chapter 5 Laser-produced tin plasmas for application in future EUVL | 第52-70页 |
| ·Background of next-generation lithography light sources | 第52-55页 |
| ·Next-generation lithography | 第52-53页 |
| ·Potential EUV lithography sources | 第53-54页 |
| ·Laser-produced tin plasmas as EUV light sources | 第54-55页 |
| ·Investigation of EUV spectra in laser-produced tin plasmas | 第55-66页 |
| ·Introduction | 第55-56页 |
| ·Experiment set-up | 第56-59页 |
| ·Theoretical calculations | 第59-62页 |
| ·Simulation and comparison of plasma spectra | 第62-66页 |
| ·Summary | 第66-67页 |
| Reference | 第67-70页 |
| Chapter 6 XUV photoabsorption spectra of laser-produced iodine plasmas | 第70-89页 |
| ·Introduction | 第70-71页 |
| ·Experiment | 第71-74页 |
| ·Atomic structure calculations | 第74-84页 |
| ·Doubly ionized iodine | 第75-78页 |
| ·Triply ionized iodine | 第78-80页 |
| ·Four-time ionized iodine | 第80-83页 |
| ·Five-time ionized iodine | 第83-84页 |
| ·Comparison between theoretical and experimental spectra | 第84-85页 |
| ·Summary | 第85-87页 |
| Reference | 第87-89页 |
| Chapter 7 XUV photoabsorption spectrum of Au~(2+),Au~(3+),and Au~(4+) | 第89-109页 |
| ·Introduction | 第89-90页 |
| ·Experiment | 第90-91页 |
| ·Atomic structure calculations | 第91-103页 |
| ·The 4f excitations | 第99-101页 |
| ·The 5p excitations | 第101-103页 |
| ·Comparison between theoretical and experimental spectra | 第103-105页 |
| ·Summary | 第105-107页 |
| Reference | 第107-109页 |
| Chapter 8 Summary | 第109-112页 |
| ·General conclusions | 第109-110页 |
| ·Future work | 第110-112页 |
| Appendix:Publications related to this work | 第112-114页 |
| Acknowledgments | 第114-115页 |
