单频干涉精密距离测量关键技术研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
目录	第7-10页
第1章 绪论	第10-32页
·论文研究的背景和意义	第10-14页
·光学干涉计量技术	第14-19页
·绝对距离干涉测量	第14-16页
·相对距离干涉测量	第16-19页
·相对距离干涉测量研究进展和发展趋势	第19-25页
·国外相对距离干涉测量技术的发展	第20-23页
·国内相对距离干涉测量技术的发展	第23-24页
·发展趋势及需要解决的问题	第24-25页
·论文的主要研究内容	第25-27页
参考文献	第27-32页
第2章 干涉仪理论及光学系统设计与分析	第32-58页
·激光干涉仪原理	第32-36页
·光的干涉基础理论	第32-34页
·干涉仪测量原理	第34-36页
·光学系统设计与分析	第36-45页
·光源的选择	第37-39页
·光学元件的选择	第39-40页
·减小光程变化	第40-42页
·安装调试误差	第42-43页
·外界环境误差	第43-45页
·光路设计及分析	第45-55页
·光路设计	第45-47页
·光路推导与分析	第47-55页
·本章小结	第55页
参考文献	第55-58页
第3章 干涉仪电路设计	第58-87页
·模拟电路设计	第59-70页
·光电探测器	第59-62页
·前置放大电路	第62-67页
·差分电路	第67-69页
·AD转换电路	第69-70页
·数字电路设计	第70-85页
·硬件组成和功能	第70-71页
·软件设计	第71-84页
·软件的仿真结果	第84-85页
·本章小结	第85页
参考文献	第85-87页
第4章 激光干涉仪实验验证	第87-119页
·模拟电路实验与分析	第87-95页
·信号三差	第88-91页
·频率响应测试	第91-95页
·控制通信实验与分析	第95-102页
·控制通信原理	第95-100页
·串口通信检测	第100-102页
·零点误差	第102-107页
·零点漂移测量分析	第102-105页
·低频噪声测量分析	第105-107页
·位移精度测量	第107-115页
·全程误差测量与分析	第107-109页
·误差复现性测量与分析	第109-113页
·信号频率对误差的影响	第113-114页
·干涉仪的辨向能力测量与分析	第114-115页
·干涉仪跟踪特性	第115-117页
·目标靶球可偏心范围测量	第115-116页
·干涉仪跟踪监控测试	第116-117页
·本章小结	第117页
参考文献	第117-119页
第5章 单频干涉仪测量优化	第119-151页
·干涉信号误差分析	第119-126页
·直流分量偏差的影响	第120-123页
·交流幅度偏差的影响	第123-124页
·正交误差的影响	第124-126页
·可修正干涉信号误差的细分计数法	第126-133页
·直流电平和交流幅值的跟踪及误差消除	第128-129页
·可修正正交误差的细分计数原理	第129-132页
·可以正确处理的信号相位差极限	第132-133页
·细分计数法的验证	第133-141页
·与传统细分法对比	第133-140页
·总结分析	第140-141页
·非线性误差修正技术	第141-146页
·Heydeman修正技术	第141-144页
·非线性误差修正方法	第144-146页
·非线性误差修正方法验证	第146-149页
·修正前后测量误差分析	第146-149页
·试验结果分析	第149页
·本章小结	第149-150页
参考文献	第150-151页
第6章 总结与展望	第151-154页
·论文研究总结	第151-152页
·研究展望	第152-154页
论文及获奖情况	第154-155页
致谢	第155页