超声喷雾热解法制备Ag掺杂ZnO薄膜光学性能的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-13页 |
| ·纳米材料的基本概念 | 第11页 |
| ·纳米材料的研究范围和内容 | 第11页 |
| ·纳米材料的研究范围 | 第11页 |
| ·纳米材料的研究内容 | 第11页 |
| ·纳米材料的性质 | 第11-13页 |
| ·量子尺寸效应 | 第12页 |
| ·宏观量子隧道效应 | 第12页 |
| ·表面效应 | 第12页 |
| ·介电限域效应 | 第12-13页 |
| 2 ZnO 的性质及应用 | 第13-19页 |
| ·ZnO 薄膜的物理性质 | 第13-14页 |
| ·ZnO 的特性及应用 | 第14-15页 |
| ·压电特性 | 第14-15页 |
| ·光电特性 | 第15页 |
| ·气敏特性 | 第15页 |
| ·ZnO 薄膜的缺陷与掺杂 | 第15-17页 |
| ·ZnO 的本征缺陷 | 第16-17页 |
| ·ZnO 的 n 型掺杂 | 第17页 |
| ·ZnO 的 p 型掺杂 | 第17页 |
| ·本篇文章的选题依据及主要内容 | 第17-19页 |
| 3 ZnO 薄膜的制备方法及表征 | 第19-28页 |
| ·制备方法 | 第19-22页 |
| ·磁控溅射法 | 第19页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第19-20页 |
| ·化学气相沉积法 | 第20页 |
| ·分子束外延法 | 第20页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第20-21页 |
| ·超声喷雾热解法 | 第21-22页 |
| ·测试表征所用仪器介绍 | 第22-28页 |
| ·X 射线衍射分析（XRD） | 第22-23页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第23-25页 |
| ·光致发光谱（PL 谱） | 第25-26页 |
| ·紫外可见光光度计 | 第26-28页 |
| 4 超声喷雾热解法制备纯 ZnO 薄膜 | 第28-39页 |
| ·超声喷雾热解法制备薄膜的基本原理 | 第28页 |
| ·超声雾化器的相关因素 | 第28-29页 |
| ·载气流量 | 第28-29页 |
| ·喷嘴到衬底的距离 | 第29页 |
| ·喷涂时间 | 第29页 |
| ·衬底种类对 ZnO 薄膜的影响 | 第29页 |
| ·衬底温度对 ZnO 薄膜的影响 | 第29-33页 |
| ·不同衬底温度下 ZnO 薄膜的结构特性 | 第29-30页 |
| ·不同衬底温度下 ZnO 薄膜的表面形貌 | 第30-32页 |
| ·不同衬底温度下 ZnO 薄膜的光学特性 | 第32-33页 |
| ·前驱体溶液浓度对 ZnO 薄膜的影响 | 第33-38页 |
| ·不同前躯体溶液浓度下 ZnO 薄膜的结构特性 | 第33-35页 |
| ·不同前驱体溶液浓度下 ZnO 薄膜的表面形貌 | 第35-36页 |
| ·不同前驱体溶液浓度下 ZnO 薄膜的光学特性 | 第36-38页 |
| ·退火温度对 ZnO 薄膜的影响 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 5 Ag 掺杂对 ZnO 薄膜性能的影响 | 第39-46页 |
| ·实验方法 | 第39页 |
| ·Ag 掺杂对薄膜的影响 | 第39-45页 |
| ·Ag 掺杂 ZnO 薄膜的结构特性 | 第39-41页 |
| ·Ag 掺杂 ZnO 薄膜的表面形貌 | 第41页 |
| ·Ag 掺杂 ZnO 薄膜的光学特性 | 第41-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 总结 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52页 |
