电容式微湿度传感器敏感结构研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·传感器概述 | 第10-12页 |
| ·湿度传感器的研究背景及现状 | 第12-16页 |
| ·湿度传感器的研究背景 | 第12-14页 |
| ·湿度传感器的研究现状 | 第14-16页 |
| ·本论文主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 湿度传感器的概述 | 第17-32页 |
| ·湿度传感器简介 | 第17-21页 |
| ·湿度的表示方法 | 第17-19页 |
| ·湿度的测量方法 | 第19-21页 |
| ·湿度传感器的静态特性指标 | 第21-25页 |
| ·量程和量程宽度 | 第21页 |
| ·线性度 | 第21-23页 |
| ·感湿灵敏度 | 第23-24页 |
| ·温度系数 | 第24页 |
| ·反应时间 | 第24-25页 |
| ·湿滞效应 | 第25页 |
| ·湿敏材料与湿度传感器研究 | 第25-29页 |
| ·电解质湿度传感器 | 第26页 |
| ·陶瓷湿度传感器 | 第26-28页 |
| ·高分子湿度传感器 | 第28-29页 |
| ·基于 MEMS 技术的微湿度传感器 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 电容式微湿度传感器的设计 | 第32-43页 |
| ·电容式微湿度传感器简介 | 第32页 |
| ·感湿介质的选择 | 第32-36页 |
| ·空气作为感湿介质 | 第33-34页 |
| ·多孔氧化物作为感湿介质 | 第34-35页 |
| ·高分子材料作为感湿介质 | 第35-36页 |
| ·纳米材料作为感湿介质 | 第36页 |
| ·聚酰亚胺的性能、制备和感湿机理 | 第36-41页 |
| ·聚酰亚胺简介 | 第36-37页 |
| ·聚酰亚胺制备 | 第37-38页 |
| ·聚酰亚胺物理感湿模型 | 第38-41页 |
| ·感湿材料表面吸附问题 | 第41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第四章 电容式微湿度传感器的仿真 | 第43-54页 |
| ·仿真理论与软件介绍 | 第43-44页 |
| ·平行板结构模型 | 第44-48页 |
| ·平行板结构模型简介 | 第44-45页 |
| ·平行板结构模型仿真 | 第45-48页 |
| ·叉指式结构模型 | 第48-52页 |
| ·叉指式结构简介 | 第48-49页 |
| ·叉指式结构设计 | 第49-50页 |
| ·叉指式结构仿真 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 电容式微湿度传感器工艺与性能测试 | 第54-58页 |
| ·叉指电容工艺流程 | 第54-56页 |
| ·微湿度传感器性能测试 | 第56-57页 |
| ·灵敏度测试 | 第56页 |
| ·湿滞测试 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第65-66页 |
