| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| ·铁电材料概述 | 第9-15页 |
| ·铁电体简介及其分类 | 第9-12页 |
| ·铁电材料的研究进展 | 第12-13页 |
| ·铁电薄膜的性质及其应用 | 第13-14页 |
| ·铁电薄膜的改性 | 第14-15页 |
| ·缓冲层研究进展 | 第15-19页 |
| ·缓冲层材料的性能要求 | 第15-16页 |
| ·常用的缓冲层材料 | 第16-18页 |
| ·缓冲层薄膜的制备方法 | 第18-19页 |
| ·STO缓冲层研究进展 | 第19-21页 |
| ·STO薄膜的性质及其应用 | 第19-20页 |
| ·STO作为缓冲层的优势 | 第20页 |
| ·STO缓冲层研究现状 | 第20-21页 |
| ·本论文的选题依据和主要内容 | 第21-24页 |
| ·本论文的选题依据 | 第21-22页 |
| ·本论文的主要内容 | 第22-24页 |
| 第2章 BNT铁电薄膜的制备工艺与表征手段 | 第24-30页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·BNT铁电薄膜的制备工艺 | 第24-27页 |
| ·化学溶液沉积制备方法的基本原理 | 第24页 |
| ·实验仪器 | 第24-25页 |
| ·实验原料 | 第25-26页 |
| ·前驱体溶液的配制及薄膜的制备工艺 | 第26-27页 |
| ·BNT铁电薄膜的表征手段 | 第27-29页 |
| ·微观结构的表征 | 第27页 |
| ·电学性能的表征 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 无缓冲层时不同工艺条件下BNT薄膜的性能研究 | 第30-36页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·退火温度对BNT薄膜铁电特性的影响 | 第30-32页 |
| ·退火时间对BNT薄膜铁电特性的影响 | 第32-33页 |
| ·退火气氛对BNT薄膜铁电特性的影响 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章 STO缓冲层的制备及工艺条件研究 | 第36-41页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·STO缓冲层的制备 | 第36-37页 |
| ·退火温度对STO缓冲层漏电性能的影响 | 第37-38页 |
| ·退火气氛对STO缓冲层漏电性能的影响 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第5章 STO缓冲层对BNT薄膜性能的优化研究 | 第41-51页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·STO缓冲层对薄膜微观结构的影响 | 第41-43页 |
| ·STO缓冲层对薄膜电学性能的影响 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第6章 总结和展望 | 第51-53页 |
| ·工作总结 | 第51页 |
| ·工作展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 硕士期间已公开发表的论文 | 第61页 |