| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·等离子体物理概述 | 第9-12页 |
| ·等离子体由来及分类 | 第9-10页 |
| ·等离子体基本物理性质 | 第10-12页 |
| ·大气压等离子体综述 | 第12-18页 |
| ·大气压等离子体的特点和优势 | 第12-13页 |
| ·大气压等离子体源研究及其应用 | 第13-18页 |
| ·研究内容及背景介绍 | 第18-20页 |
| 2 大气压射频容性氩/氮等离子体实验装置及射频电源阻抗匹配原理 | 第20-29页 |
| ·实验装置系统 | 第20-26页 |
| ·射频功率源阻抗匹配原理介绍 | 第26-29页 |
| ·功率最大化原理 | 第26-27页 |
| ·匹配网络中可调电容参数的确定 | 第27-29页 |
| 3 常压射频氩/氮等离子体的多元诊断及其在材料表面改性中的应用 | 第29-42页 |
| ·大气压射频容性氩/氮等离子体的电学诊断 | 第29-33页 |
| ·实验现象的分析及讨论 | 第29-30页 |
| ·电学特性分析 | 第30-33页 |
| ·大气压射频容性氩/氮等离子体的光学诊断 | 第33-39页 |
| ·振动温度的测量 | 第33-38页 |
| ·氮原子浓度的光化线强度测定 | 第38-39页 |
| ·大气压射频容性氩/氮等离子体在玻璃表面亲水性应用中的尝试 | 第39-42页 |
| 4 大气压射频微等离子体射流的初步探究 | 第42-55页 |
| ·射频功率源阻抗匹配的实验研究 | 第42-53页 |
| ·实验装置及实验步骤 | 第43-44页 |
| ·匹配网络理论基础介绍 | 第44-49页 |
| ·实验结果讨论及意义 | 第49-53页 |
| ·大气压射频He/CF_4/O_2放电的初步发射光谱诊断 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
