金属多层膜力学行为及其组元与尺寸效应
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-14页 |
| 1 绪论 | 第14-26页 |
| ·微器件结构微型化及其服役可靠性 | 第14-15页 |
| ·金属薄膜材料力学行为及其尺寸效应 | 第15-21页 |
| ·金属薄膜材料的强度/硬度及其尺寸效应 | 第15-18页 |
| ·金属薄膜材料的弹性模量及其尺寸效应 | 第18页 |
| ·金属薄膜材料的延性及其尺寸效应 | 第18-19页 |
| ·金属薄膜材料的断裂行为及其尺寸效应 | 第19-21页 |
| ·金属薄膜材料疲劳行为及其尺寸效应 | 第21-23页 |
| ·金属薄膜材料机械疲劳寿命及其尺寸效应 | 第21-22页 |
| ·金属薄膜材料机械疲劳损伤行为及其尺寸效应 | 第22-23页 |
| ·金属薄膜材料的电输运行为及其尺寸效应 | 第23-25页 |
| ·本文主要研究内容 | 第25-26页 |
| 2 金属薄膜材料的制备及分析测试方法 | 第26-34页 |
| ·金属薄膜材料的制备方法 | 第26-27页 |
| ·磁控溅射技术 | 第26-27页 |
| ·膜基材料的选择 | 第27页 |
| ·金属薄膜材料的微观结构表征方法 | 第27-29页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第28页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第28页 |
| ·聚焦离子束(FIB) | 第28页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第28-29页 |
| ·金属薄膜材料的力学性能测试方法 | 第29-32页 |
| ·单轴拉伸试验 | 第29-30页 |
| ·纳米压痕试验 | 第30-32页 |
| ·机械疲劳试验 | 第32页 |
| ·金属薄膜材料的电学性能测试方法 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 金属Cu薄膜拉伸变形与疲劳行为及其尺寸效应 | 第34-47页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·实验方法 | 第34-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-46页 |
| ·Cu薄膜的微观结构 | 第35-36页 |
| ·Cu薄膜的强度与延性及其尺寸效应 | 第36-39页 |
| ·Cu薄膜的变形机制及其尺寸效应 | 第39-43页 |
| ·Cu薄膜的机械疲劳寿命及其尺寸效应 | 第43-44页 |
| ·Cu薄膜的疲劳损伤行为及其尺寸效应 | 第44-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 金属多层膜力学行为及其组元与尺寸效应 | 第47-73页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·实验方法 | 第47-48页 |
| ·结果与讨论 | 第48-71页 |
| ·Cu/X多层膜的微观结构 | 第48-56页 |
| ·Cu/X多层膜的强度及其尺寸效应 | 第56-60页 |
| ·Cu/X多层膜的延性及其尺寸效应 | 第60-62页 |
| ·Cu/X多层膜的断裂模式及其尺寸效应 | 第62-66页 |
| ·Cu/X多层膜强度与延性的关系 | 第66-69页 |
| ·Cu/X多层膜的硬度与模量及其尺寸效应 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 5 金属多层膜疲劳行为及其组元与尺寸效应 | 第73-81页 |
| ·引言 | 第73页 |
| ·实验方法 | 第73-74页 |
| ·结果与讨论 | 第74-80页 |
| ·Cu/X多层膜的微观结构 | 第74-75页 |
| ·Cu/X多层膜的机械疲劳寿命测定 | 第75页 |
| ·Cu/X多层膜的机械疲劳寿命及其尺寸效应 | 第75-78页 |
| ·Cu/X多层膜的疲劳损伤行为及其尺寸效应 | 第78-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 6 金属多层膜电学行为及其组元与尺寸效应 | 第81-89页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·实验方法 | 第81-82页 |
| ·结果与讨论 | 第82-87页 |
| ·Cu/X多层膜的微观结构 | 第82-84页 |
| ·Cu/X多层膜的电阻率及其尺寸效应 | 第84-87页 |
| ·Cu/X多层膜电阻率与硬度的最佳匹配 | 第87页 |
| ·本章小结 | 第87-89页 |
| 7 结论与展望 | 第89-91页 |
| ·主要结论 | 第89-90页 |
| ·展望 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第100-102页 |
