| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·本课题的研究背景 | 第9页 |
| ·MEMS技术的发展及关键问题 | 第9-10页 |
| ·微细加工技术 | 第10-11页 |
| ·激光微加工技术 | 第11-16页 |
| ·激光刻蚀机理发展 | 第12-13页 |
| ·激光加工表面粗糙度改善 | 第13页 |
| ·准分子激光微加工 | 第13-14页 |
| ·准分子激光微加工系统 | 第14-16页 |
| ·本文研究内容 | 第16-19页 |
| 第2章 激光微加工聚合物材料机理研究 | 第19-37页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·激光与聚合物相互作用理化模型 | 第20-22页 |
| ·表面形貌表征 | 第22-24页 |
| ·激光加工聚合物微通道光谱分析 | 第24-29页 |
| ·试样的加工与测试 | 第24-25页 |
| ·图谱分析 | 第25-29页 |
| ·激光微加工表面成形机制 | 第29-35页 |
| ·激光加工微通道表面成形机制 | 第29-31页 |
| ·激光加工微柱表面成形机制 | 第31-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 工艺结合法改善激光加工表面质量 | 第37-51页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·激光微加工结合模塑技术提高微通道表面质量 | 第37-44页 |
| ·实验条件与参数 | 第37-39页 |
| ·实验结果与分析 | 第39-44页 |
| ·激光加工结合湿法腐蚀技术改善激光加工表面质量 | 第44-48页 |
| ·实验条件和参数 | 第44-45页 |
| ·实验结果及分析 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-51页 |
| 第4章 水膜法和激光抛光法改善微通道表面粗糙度 | 第51-65页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·水膜法改善二氧化碳激光直写PMMA微通道表面粗糙度 | 第51-56页 |
| ·实验条件及参数 | 第51-53页 |
| ·实验结果及分析 | 第53-56页 |
| ·准分子激光与CO_2激光结合改善微通道表面粗糙度 | 第56-64页 |
| ·结合法抛光机制 | 第56-57页 |
| ·实验条件及参数 | 第57-59页 |
| ·实验结果与分析 | 第59-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73页 |