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LSCO薄膜的制备工艺与其湿度敏感性能的研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
第一章 绪论第9-20页
   ·导电陶瓷第9页
   ·敏感陶瓷第9-11页
   ·钙钛矿湿敏材料第11-16页
     ·水在湿敏陶瓷的表面吸附第12-14页
     ·感湿机理第14-16页
   ·湿度传感器第16页
   ·La_(1-x)Sr_xCoO_3性质及其应用第16-18页
   ·论文的选题及意义第18-20页
第二章 CMR钙钛矿氧化物材料第20-29页
   ·钙钛矿氧化物材料的研究现状第20-22页
   ·ABO_3型钙钛矿氧化物的结构第22-25页
     ·晶体结构第22-23页
     ·电子结构第23-25页
   ·CMR材料的物理机制第25-26页
   ·测辐射热仪第26-27页
   ·激光功率计第27-29页
第三章 LSCO多晶靶材的制备工艺第29-42页
   ·多晶的制备方法第29-31页
     ·固相反应法(Solid State Reaction)第29页
     ·液相法第29-31页
   ·半共沉淀法制备多晶靶材第31-37页
     ·原料计算、处理和称量第31-32页
     ·化学共沉淀反应第32页
     ·成核和生长的分离第32-33页
     ·沉淀物的处理第33-34页
     ·焙烧第34页
     ·成型第34-36页
     ·正式烧结第36-37页
     ·退火第37页
   ·实验部分第37-38页
     ·粉体的制备第37页
     ·靶材的制备第37页
     ·靶材的表征第37-38页
   ·分析与讨论第38-40页
     ·LSCO多晶粉体的表征第38-39页
     ·LSCO靶材的制备分析第39-40页
   ·小结第40-42页
第四章 脉冲激光沉积镀膜工艺第42-54页
   ·脉冲激光沉积薄膜发展第42-45页
   ·PLD法制备薄膜的设备及其特点第45-46页
     ·PLD法制备薄膜的设备第45页
     ·PLD法制备薄膜的技术特点第45-46页
   ·PLD法薄膜制备技术的研究现状第46-52页
     ·PLD法薄膜制备技术的理论研究第46-49页
     ·工艺的研究进展第49-51页
     ·PLD法制备薄膜新材料的研究进展第51-52页
   ·PLD薄膜技术的发展趋势及应用前景第52-54页
第五章 生长在不同衬底上 LSCO薄膜的性质研究第54-66页
   ·阻湿特性分析第54-56页
   ·浸水对 LSCO/SiO_2/Si薄膜的电阻的影响第56-58页
   ·湿度对 LSCO薄膜的电阻的影响第58-60页
   ·温度对 LSCO/SiO_2/Si薄膜的电阻的影响第60-62页
   ·薄膜湿敏特性的测试第62页
   ·在 LAO和 STO衬底上 LPMO薄膜湿度与电阻关系第62-63页
   ·其它类似薄膜湿度与电阻关系测试第63-64页
   ·实验结果与分析第64页
   ·衬底的影响第64-65页
   ·小结第65-66页
第六章 结论与展望第66-67页
致谢第67-68页
参考文献第68-72页
附录第72页

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