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催化剂辅助化学气相生长高结晶六方氮化硼薄膜

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
ACKNOWLEDGEMENTS第8-11页
LIST OF TABLES第11-12页
LIST OF FIGURES第12-14页
CHAPTER 1 INTRODUCTION第14-25页
   ·Introduction to hBN第14-21页
     ·Structure第14-15页
     ·Properties第15-17页
     ·Synthesis methods第17-18页
     ·Application第18-21页
   ·Introduction to catalytic growth第21-24页
   ·Major work of my research第24-25页
CHAPTER 2 EXPERIMENTAL METHODS第25-36页
   ·Preparation of the catalyst films第25-27页
     ·Catalyst selection第25-26页
     ·Pre-treatment of substrates第26-27页
     ·Preparation of catalyst films第27页
   ·Preparation of hBN films第27-34页
     ·Samples preparation第27-28页
     ·Microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD)第28-34页
   ·Characterization第34-36页
     ·Raman spectroscopy and photoluminescence第34页
     ·Scanning electron microscopy第34-35页
     ·X-ray diffraction第35-36页
CHAPTER 3 CATALYTIC GROWTH HBN FILMS第36-59页
   ·Comparison study of different catalysts第36-38页
   ·Effects of process parameters on catalystic growth of hBN films第38-43页
     ·Effects of working pressure第38-42页
     ·Effects of bias第42-43页
   ·Catalyst films annealing第43-49页
     ·hBN films grown on Si substrate第44-45页
     ·hBN films grown on as deposited Mo catalysts第45-47页
     ·hBN films grown on as deposited Ni-Mo catalysts第47-49页
   ·Annealing effects of hBN films第49-58页
     ·hBN films grown on Si substrates第50-52页
     ·hBN films grown on as deposited Mo catalysts第52-54页
     ·hBN films grown on as deposited Ni-Mo catalysts第54-57页
     ·The cross-section of hBN films第57-58页
   ·Summary第58-59页
CHAPTER 4 PHOTOLUMINESCENCE第59-63页
   ·Photoluminescence property of hBN film第59-62页
   ·Summary第62-63页
Conclusion第63-64页
References第64-69页

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