| 第一章 绪 论 | 第1-16页 |
| 1．1 微机械与微机械技术发展现状 | 第8-10页 |
| 1．2 桌面式微型工厂的发展现状 | 第10-13页 |
| 1．2．1 微型工厂的概念 | 第10-12页 |
| 1．2．2 国内外微型工厂发展状况 | 第12-13页 |
| 1．3 建立微型工厂存在的主要问题 | 第13-14页 |
| 1．4 论文研究的意义及内容 | 第14-16页 |
| 第二章 微型工厂的原型系统建模 | 第16-33页 |
| 2．1 建模技术进展回顾 | 第16-17页 |
| 2．2 IM典型加工工艺流程 | 第17-21页 |
| 2．2．1 MEMS的主要加工技术 | 第17-18页 |
| 2．2．2 基于IC工艺的加工流程 | 第18-20页 |
| 2．2．3 MEMS的典型加工工艺 | 第20-21页 |
| 2．3 桌面式微型工厂的体系结构 | 第21-32页 |
| 2．3．1 系统的结构框架 | 第23-24页 |
| 2．3．2 加工中心 | 第24-28页 |
| 2．3．3 检测系统 | 第28-29页 |
| 2．3．4 计算机软件系统 | 第29-31页 |
| 2．3．5 传感器的应用 | 第31-32页 |
| 2．4 微型工厂各子系统的集成 | 第32-33页 |
| 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 微型工厂基于AGENT的体系结构 | 第34-45页 |
| 3．1 面向对象方法 | 第34页 |
| 3．2 面向Agent方法 | 第34-38页 |
| 3．2．1 Agent概念、特性 | 第35-37页 |
| 3．2．2 Agent体系结构 | 第37页 |
| 3．2．3 多Agent（Multi-Agent）系统 | 第37-38页 |
| 3．3 基于Agent的体系结构 | 第38-41页 |
| 3．3．1 面向Agent的分析与建模 | 第38-40页 |
| 3．3．2 体系结构 | 第40-41页 |
| 3．4 微型工厂中Agent的行为 | 第41-45页 |
| 3．4．1 Agent形式化定义 | 第41-45页 |
| 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 基于AGENT的加工过程仿真 | 第46-63页 |
| 4．1 仿真进展回顾 | 第46-47页 |
| 4．2 加工过程仿真模型的建立 | 第47-54页 |
| 4．2．1 微型工厂静态模型的建立 | 第48-52页 |
| 4．2．2 产品模型的建立 | 第52-54页 |
| 4．2．3 工艺模型的建立 | 第54页 |
| 4．3 微型工厂加工过程的仿真 | 第54-63页 |
| 4．3．1 加工仿真的过程建模 | 第56-59页 |
| 4．3．2 加工过程的仿真 | 第59-61页 |
| 4．3．3 仿真模型的校验 | 第61-62页 |
| 4．3．4 仿真结果分析 | 第62-63页 |
| 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 装配与封装 | 第64-72页 |
| 5．1 微装配技术及发展现状 | 第64-66页 |
| 5．2 微型工厂的装配方案 | 第66-71页 |
| 5．2．1 装配方法 | 第66-67页 |
| 5．2．2 装配方案 | 第67-70页 |
| 5．2．3 装配过程仿真 | 第70-71页 |
| 5．3 封装技术 | 第71页 |
| 5．4 装配与封装的主要问题与发展方向 | 第71-72页 |
| 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 微型工厂原型系统的实现 | 第73-83页 |
| 6．1 新兴制造技术在微型工厂中的应用 | 第73-77页 |
| 6．1．1 VM及其应用 | 第73-74页 |
| 6．1．2 VR及其应用 | 第74-75页 |
| 6．1．3 其它制造技术的应用 | 第75页 |
| 6．1．4 硬件描述语言及其在微型工厂中的应用 | 第75-77页 |
| 6．2 原型系统开发原则及工具 | 第77-78页 |
| 6．2．1 开发原则 | 第77页 |
| 6．2．2 开发工具 | 第77-78页 |
| 6．3 VRML应用系统开发方法 | 第78-79页 |
| 6．4 微型工厂系统实现方法 | 第79-83页 |
| 6．4．1 系统几何建模 | 第79-80页 |
| 6．4．2 Agent模型的实现 | 第80-82页 |
| 6．4．3 系统运行控制 | 第82-83页 |
| 本章小结 | 第83-84页 |
| 结束语 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-91页 |
| 致 谢 | 第91页 |