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99nm内存的刷新时间的研究及改善

摘要第1-4页
Abstract第4-5页
第1章 引言第5-16页
   ·集成电路概述第5页
   ·内存的意义第5-6页
   ·动态随机存储器第6-9页
     ·动态随机存储器简介第6页
     ·动态随机存储器的发展历史第6-9页
   ·内存的工作原理第9-16页
     ·内存结构和工作原理简介第9-12页
     ·内存刷新的简介第12-14页
     ·内存控制器第14-16页
第2章 研究背景及材料制备与分析第16-22页
   ·产品背景简介第16-18页
   ·论文的研究目标第18页
   ·技术线路和实施方案第18页
   ·试验原料和试验器材第18-19页
     ·实验原料第18页
     ·实验设备及器件第18-19页
   ·分析测试仪器第19页
   ·产品结构第19-22页
第3章 DRAM电容的提高实现的刷新时间改进第22-31页
   ·电容结构分析第22-24页
   ·提高电容容量第24-31页
     ·增加DT的深度第24页
     ·增大DT的尺寸第24-27页
     ·改变R1的深度第27-29页
     ·提高电介质层的k值第29-31页
第4章 漏电流及漏电流的降低对刷新时间的改进第31-42页
   ·降低漏电流第31-42页
     ·DRAM漏电流路径的分析第31-32页
     ·降低寄生晶体管的漏电流第32-34页
     ·降低CELL CMOS的漏电流第34-36页
     ·NODE SIN的改善第36-38页
     ·CELL MOS的PN结漏电流第38-39页
     ·改进有源区到DT的漏电流第39-42页
第5章 结论第42-44页
参考文献第44-45页
致谢第45-46页

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