99nm内存的刷新时间的研究及改善
摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
第1章 引言 | 第5-16页 |
·集成电路概述 | 第5页 |
·内存的意义 | 第5-6页 |
·动态随机存储器 | 第6-9页 |
·动态随机存储器简介 | 第6页 |
·动态随机存储器的发展历史 | 第6-9页 |
·内存的工作原理 | 第9-16页 |
·内存结构和工作原理简介 | 第9-12页 |
·内存刷新的简介 | 第12-14页 |
·内存控制器 | 第14-16页 |
第2章 研究背景及材料制备与分析 | 第16-22页 |
·产品背景简介 | 第16-18页 |
·论文的研究目标 | 第18页 |
·技术线路和实施方案 | 第18页 |
·试验原料和试验器材 | 第18-19页 |
·实验原料 | 第18页 |
·实验设备及器件 | 第18-19页 |
·分析测试仪器 | 第19页 |
·产品结构 | 第19-22页 |
第3章 DRAM电容的提高实现的刷新时间改进 | 第22-31页 |
·电容结构分析 | 第22-24页 |
·提高电容容量 | 第24-31页 |
·增加DT的深度 | 第24页 |
·增大DT的尺寸 | 第24-27页 |
·改变R1的深度 | 第27-29页 |
·提高电介质层的k值 | 第29-31页 |
第4章 漏电流及漏电流的降低对刷新时间的改进 | 第31-42页 |
·降低漏电流 | 第31-42页 |
·DRAM漏电流路径的分析 | 第31-32页 |
·降低寄生晶体管的漏电流 | 第32-34页 |
·降低CELL CMOS的漏电流 | 第34-36页 |
·NODE SIN的改善 | 第36-38页 |
·CELL MOS的PN结漏电流 | 第38-39页 |
·改进有源区到DT的漏电流 | 第39-42页 |
第5章 结论 | 第42-44页 |
参考文献 | 第44-45页 |
致谢 | 第45-46页 |