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一种碳纳米管/硅巢状阵列的制备与场发射、湿敏性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-12页
第一章 绪论第12-44页
   ·引言第12页
   ·碳纳米管的结构及性能第12-15页
   ·碳纳米管薄膜的制备第15-19页
     ·移植法制备碳纳米管薄膜第15-16页
     ·直接生长法制备碳纳米管薄膜第16-19页
       ·图案化(patterned)催化剂膜上原位制备第16-17页
       ·模板中碳纳米管薄膜的制备第17-18页
       ·薄片上碳纳米管薄膜的制备第18-19页
   ·碳纳米管的生长机理第19-20页
   ·碳纳米管薄膜的应用研究第20-29页
     ·碳纳米管的场发射第21-27页
       ·碳纳米管方向性的影响第21-24页
       ·碳纳米管几何结构的影响第24-25页
       ·碳纳米管表面吸附的影响第25-26页
       ·碳纳米管场发射显示器的应用进展第26-27页
     ·碳纳米管的传感性能第27-29页
       ·碳纳米管气敏传感器第27-28页
       ·碳纳米管湿敏传感器第28-29页
         ·碳纳米管电阻式湿敏传感器第28-29页
         ·碳纳米管电容式湿敏传感器第29页
   ·硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)第29-32页
     ·Si-NPA的制备第29-30页
     ·Si-NPA的结构与表面形貌第30-31页
     ·Si-NPA的场发射及湿敏性能第31-32页
   ·本论文的工作第32-33页
 参考文献第33-44页
第二章 碳纳米管/硅巢状阵列(NACNT/Si-NPA)的制备及生长机理第44-74页
   ·引言第44页
   ·NACNT/Si-NPA的制备、表面形貌和结构表征及成分分析第44-54页
     ·NACNT/Si-NPA的制备第44-45页
     ·不同沉积时间的NACNT/Si-NPA形貌结构及成分表征第45-49页
     ·不同沉积温度对NACNT/Si-NPA的形貌的影响第49-54页
       ·不同沉积温度NACNT/Si-NPA的SEM形貌表征第49-51页
       ·不同沉积温度碳纳米管的TEM观察第51-53页
       ·不同沉积温度碳纳米管的拉曼光谱研究第53-54页
   ·NACNT/Si-NPA形成机理第54-67页
     ·无金属催化剂在Si-NPA上生长CNTs的形成机理第54-58页
     ·在Si-NPA衬底上预沉积催化剂的CNTs生长机理第58-60页
     ·NACNT/Si-NPA浮动催化生长过程机理分析第60-67页
   ·本章小结第67-69页
 参考文献第69-74页
第三章 NACNT/Si-NPA的场致电子发射性能第74-106页
   ·引言第74页
   ·电子发射基本原理第74-79页
     ·场致电子发射基本原理第75-77页
     ·场致发射性能评价指标及可采取的优化措施第77-79页
       ·开启电场第77-78页
       ·场发射电流密度第78页
       ·场发射电流稳定性第78-79页
       ·场发射电子的能量分布第79页
       ·场发射阴极的发射点密度第79页
   ·NACNT/Si-NPA的场致电子发射第79-99页
     ·场发射测试第79-80页
     ·不同温度制备的NACNT/Si-NPA的场发射性能第80-91页
       ·700℃不同时间制备NACNT/Si-NPA的场发射性能比较第80-85页
       ·800℃不同时间制备NACNT/Si-NPA的场发射性能比较第85-86页
       ·900℃不同时间制备NACNT/Si-NPA的场发射性能比较第86-88页
       ·不同温度制备NACNT/Si-NPA的场发射性能比较第88-91页
     ·极限场强测试第91-95页
     ·NACNT/Si-NPA尚未解决的问题第95-99页
   ·本章小结第99-100页
 参考文献第100-106页
第四章 NACNT/Si-NPA湿敏性能研究第106-141页
   ·引言第106-107页
   ·湿敏测试实验设计第107-109页
     ·湿度标定系统的设计第107页
     ·湿度信号的检测第107-108页
     ·湿度传感器的特征参数第108-109页
   ·电阻式NACNT/Si-NPA湿敏元件性能测试及分析第109-122页
     ·电阻式NACNT/Si-NPA湿敏元件的制作第109-110页
     ·湿敏元件感湿特性的测试第110-122页
       ·湿敏元件灵敏度测试第110-117页
         ·碳纳米管导电类型的判定第112-115页
         ·碳纳米管水分子吸附的机理第115-117页
       ·频率对灵敏度的影响第117-120页
       ·湿敏元件响应时间的测试第120-121页
       ·NACNT/Si-NPA湿敏元件的湿滞特性第121-122页
       ·NACNT/Si-NPA湿敏元件的电压特性第122页
   ·电容式NACNT/Si-NPA湿敏元件性能测试及分析第122-134页
     ·湿敏元件的制作及其形貌和结构表征第123-126页
       ·NACNT/Si-NPA的制备第123页
       ·湿敏元件的形貌和结构表征第123-125页
       ·湿敏元件的制作第125-126页
     ·Si-NPA及NACNT/Si-NPA电容湿敏性能测试及分析第126-134页
       ·湿敏元件的灵敏度测试第126-130页
       ·湿敏元件的湿滞第130-131页
       ·湿敏元件的响应——恢复时间第131-132页
       ·NACNT/Si-NPA湿敏元件的重复性第132-133页
       ·NACNT/Si-NPA湿敏元件的动态响应第133-134页
   ·本章小结第134-135页
 参考文献第135-141页
第五章 总结与展望第141-143页
攻读博士学位期间发表的论文第143-145页
致谢第145页

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