| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-44页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·碳纳米管的结构及性能 | 第12-15页 |
| ·碳纳米管薄膜的制备 | 第15-19页 |
| ·移植法制备碳纳米管薄膜 | 第15-16页 |
| ·直接生长法制备碳纳米管薄膜 | 第16-19页 |
| ·图案化(patterned)催化剂膜上原位制备 | 第16-17页 |
| ·模板中碳纳米管薄膜的制备 | 第17-18页 |
| ·薄片上碳纳米管薄膜的制备 | 第18-19页 |
| ·碳纳米管的生长机理 | 第19-20页 |
| ·碳纳米管薄膜的应用研究 | 第20-29页 |
| ·碳纳米管的场发射 | 第21-27页 |
| ·碳纳米管方向性的影响 | 第21-24页 |
| ·碳纳米管几何结构的影响 | 第24-25页 |
| ·碳纳米管表面吸附的影响 | 第25-26页 |
| ·碳纳米管场发射显示器的应用进展 | 第26-27页 |
| ·碳纳米管的传感性能 | 第27-29页 |
| ·碳纳米管气敏传感器 | 第27-28页 |
| ·碳纳米管湿敏传感器 | 第28-29页 |
| ·碳纳米管电阻式湿敏传感器 | 第28-29页 |
| ·碳纳米管电容式湿敏传感器 | 第29页 |
| ·硅纳米孔柱阵列(Si-NPA) | 第29-32页 |
| ·Si-NPA的制备 | 第29-30页 |
| ·Si-NPA的结构与表面形貌 | 第30-31页 |
| ·Si-NPA的场发射及湿敏性能 | 第31-32页 |
| ·本论文的工作 | 第32-33页 |
| 参考文献 | 第33-44页 |
| 第二章 碳纳米管/硅巢状阵列(NACNT/Si-NPA)的制备及生长机理 | 第44-74页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·NACNT/Si-NPA的制备、表面形貌和结构表征及成分分析 | 第44-54页 |
| ·NACNT/Si-NPA的制备 | 第44-45页 |
| ·不同沉积时间的NACNT/Si-NPA形貌结构及成分表征 | 第45-49页 |
| ·不同沉积温度对NACNT/Si-NPA的形貌的影响 | 第49-54页 |
| ·不同沉积温度NACNT/Si-NPA的SEM形貌表征 | 第49-51页 |
| ·不同沉积温度碳纳米管的TEM观察 | 第51-53页 |
| ·不同沉积温度碳纳米管的拉曼光谱研究 | 第53-54页 |
| ·NACNT/Si-NPA形成机理 | 第54-67页 |
| ·无金属催化剂在Si-NPA上生长CNTs的形成机理 | 第54-58页 |
| ·在Si-NPA衬底上预沉积催化剂的CNTs生长机理 | 第58-60页 |
| ·NACNT/Si-NPA浮动催化生长过程机理分析 | 第60-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-74页 |
| 第三章 NACNT/Si-NPA的场致电子发射性能 | 第74-106页 |
| ·引言 | 第74页 |
| ·电子发射基本原理 | 第74-79页 |
| ·场致电子发射基本原理 | 第75-77页 |
| ·场致发射性能评价指标及可采取的优化措施 | 第77-79页 |
| ·开启电场 | 第77-78页 |
| ·场发射电流密度 | 第78页 |
| ·场发射电流稳定性 | 第78-79页 |
| ·场发射电子的能量分布 | 第79页 |
| ·场发射阴极的发射点密度 | 第79页 |
| ·NACNT/Si-NPA的场致电子发射 | 第79-99页 |
| ·场发射测试 | 第79-80页 |
| ·不同温度制备的NACNT/Si-NPA的场发射性能 | 第80-91页 |
| ·700℃不同时间制备NACNT/Si-NPA的场发射性能比较 | 第80-85页 |
| ·800℃不同时间制备NACNT/Si-NPA的场发射性能比较 | 第85-86页 |
| ·900℃不同时间制备NACNT/Si-NPA的场发射性能比较 | 第86-88页 |
| ·不同温度制备NACNT/Si-NPA的场发射性能比较 | 第88-91页 |
| ·极限场强测试 | 第91-95页 |
| ·NACNT/Si-NPA尚未解决的问题 | 第95-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 参考文献 | 第100-106页 |
| 第四章 NACNT/Si-NPA湿敏性能研究 | 第106-141页 |
| ·引言 | 第106-107页 |
| ·湿敏测试实验设计 | 第107-109页 |
| ·湿度标定系统的设计 | 第107页 |
| ·湿度信号的检测 | 第107-108页 |
| ·湿度传感器的特征参数 | 第108-109页 |
| ·电阻式NACNT/Si-NPA湿敏元件性能测试及分析 | 第109-122页 |
| ·电阻式NACNT/Si-NPA湿敏元件的制作 | 第109-110页 |
| ·湿敏元件感湿特性的测试 | 第110-122页 |
| ·湿敏元件灵敏度测试 | 第110-117页 |
| ·碳纳米管导电类型的判定 | 第112-115页 |
| ·碳纳米管水分子吸附的机理 | 第115-117页 |
| ·频率对灵敏度的影响 | 第117-120页 |
| ·湿敏元件响应时间的测试 | 第120-121页 |
| ·NACNT/Si-NPA湿敏元件的湿滞特性 | 第121-122页 |
| ·NACNT/Si-NPA湿敏元件的电压特性 | 第122页 |
| ·电容式NACNT/Si-NPA湿敏元件性能测试及分析 | 第122-134页 |
| ·湿敏元件的制作及其形貌和结构表征 | 第123-126页 |
| ·NACNT/Si-NPA的制备 | 第123页 |
| ·湿敏元件的形貌和结构表征 | 第123-125页 |
| ·湿敏元件的制作 | 第125-126页 |
| ·Si-NPA及NACNT/Si-NPA电容湿敏性能测试及分析 | 第126-134页 |
| ·湿敏元件的灵敏度测试 | 第126-130页 |
| ·湿敏元件的湿滞 | 第130-131页 |
| ·湿敏元件的响应——恢复时间 | 第131-132页 |
| ·NACNT/Si-NPA湿敏元件的重复性 | 第132-133页 |
| ·NACNT/Si-NPA湿敏元件的动态响应 | 第133-134页 |
| ·本章小结 | 第134-135页 |
| 参考文献 | 第135-141页 |
| 第五章 总结与展望 | 第141-143页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第143-145页 |
| 致谢 | 第145页 |