| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第9-10页 |
| ·半导体的能带理论 | 第10-12页 |
| ·ZnO的缺陷 | 第12-13页 |
| ·ZnO的性质与应用 | 第13-15页 |
| ·ZnO的光电特性 | 第13-14页 |
| ·压电特性 | 第14页 |
| ·气敏和湿敏特性 | 第14页 |
| ·ZnO基稀磁特性 | 第14-15页 |
| ·掺杂对ZnO薄膜性能的影响 | 第15页 |
| ·本论文研究内容、主要创新点及意义 | 第15-18页 |
| 第二章 脉冲激光沉积法制备ZnO及Mn、Co掺杂ZnO薄膜 | 第18-28页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·薄膜制备方法 | 第18-21页 |
| ·磁控溅射 | 第18页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD) | 第18-19页 |
| ·脉冲激光沉积系统组成 | 第19-21页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第21页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第21页 |
| ·薄膜制备 | 第21-23页 |
| ·溶胶-凝胶法制耙材 | 第21-22页 |
| ·PLD生长薄膜 | 第22页 |
| ·制备ZnO薄膜实验参数 | 第22-23页 |
| ·薄膜性能表征 | 第23-28页 |
| ·X射线衍射 | 第23-24页 |
| ·能谱分析 | 第24页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第24-25页 |
| ·紫外-可见-近红外光谱仪 | 第25页 |
| ·分子荧光光谱 | 第25-28页 |
| 第三章 影响ZnO、Zn_(1-x)Mn_xO和Zn_(1-x)Co_xO薄膜结构的因素及其结构表征 | 第28-42页 |
| ·衬底温度对ZnO薄膜结构的影响 | 第28-31页 |
| ·Mn掺杂对ZnO薄膜结构的影响及其X射线衍射分析 | 第31-33页 |
| ·Co掺杂对ZnO薄膜结构的影响及其X射线衍射分析 | 第33-35页 |
| ·薄膜组分的能谱分析 | 第35-38页 |
| ·ZnO能谱分析 | 第35-36页 |
| ·Zn_(0.8)Mn_(0.2)O薄膜的能谱分析 | 第36-37页 |
| ·Zn_(0.8)Co_(0.2)O薄膜的能谱分析 | 第37-38页 |
| ·薄膜的表面形貌分析 | 第38-42页 |
| ·衬底温度为350℃的ZnO薄膜的AFM分析 | 第38页 |
| ·Zn_(0.8)Mn_(0.2)O薄膜的AFM分析 | 第38-39页 |
| ·Zn_(0.9)Co_(0.1)O薄膜的AFM分析 | 第39-42页 |
| 第四章 ZnO、Zn_(1-x)Mn_xO和Zn_(1-x)Co_xO薄膜的光致发光 | 第42-52页 |
| ·薄膜的光致发光原理 | 第42-43页 |
| ·ZnO薄膜的PL谱 | 第43-47页 |
| ·Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的PL谱 | 第47-48页 |
| ·Zn_(1-x)Co_xO薄膜的PL谱 | 第48-52页 |
| 第五章 Mn、Co掺杂ZnO薄膜的透过率 | 第52-60页 |
| ·材料的透光性 | 第52-53页 |
| ·Zn_(1-x)Mn_xO薄膜的透过率 | 第53-55页 |
| ·Zn_(1-x)Co_xO薄膜的透过率 | 第55-60页 |
| 第六章 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·主要结论 | 第60-61页 |
| ·展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
