基于PSD的微小位移测量系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·微位移测量技术概况 | 第8-9页 |
| ·纳米级位移测量技术的发展及研究现状 | 第9-11页 |
| ·课题目的及意义 | 第11-13页 |
| ·课题任务及系统配置 | 第13-14页 |
| 2 微位移测量系统理论及结构分析 | 第14-19页 |
| ·测量原理 | 第14-17页 |
| ·微位移测量仪系统结构 | 第17-19页 |
| 3 微机式微位移自动测量系统 | 第19-44页 |
| ·系统硬件设计 | 第19-34页 |
| ·系统软件设计及系统标定 | 第34-43页 |
| ·系统整机调试 | 第43-44页 |
| 4 便携式微位移自动测量系统 | 第44-56页 |
| ·数字信号处理器（DSP）简介 | 第44-45页 |
| ·嵌入式及DSP 系统 | 第45-46页 |
| ·便携式系统电路硬件设计 | 第46-51页 |
| ·软件设计 | 第51-56页 |
| 5 仪器误差的理论分析及数据处理 | 第56-60页 |
| ·仪器误差的理论分析 | 第56-57页 |
| ·微位移检测仪精度分析 | 第57页 |
| ·实验结果 | 第57-58页 |
| ·数据处理及结果分析 | 第58-60页 |
| 6 总结和展望 | 第60-62页 |
| ·全文总结 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表论文目录 | 第66页 |
