| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-14页 |
| §1.1 MEMS简介 | 第6页 |
| §1.2 MEMS的应用领域 | 第6-8页 |
| §1.3 MEMS产业化进程中的挑战 | 第8页 |
| §1.4 MEMS加速度传感器 | 第8-12页 |
| §1.5 本论文研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第二章 MEMS压阻式加速度传感器的原理与理论分析 | 第14-24页 |
| §2.1 MEMS加速度计工作原理 | 第14-16页 |
| §2.2 MEMS压阻式加速度传感器 | 第16-24页 |
| 第三章 压阻式加速度计的结构和版图设计 | 第24-36页 |
| §3.1 结构设计 | 第24-26页 |
| §3.2 版图设计说明 | 第26-36页 |
| 第四章 工艺实验 | 第36-47页 |
| §4.1 硅微机械加工工艺概述 | 第36-39页 |
| §4.2 压阻式加速度传感器的工艺流程 | 第39-45页 |
| §4.3 工艺中的问题及讨论 | 第45-47页 |
| 第五章 封装及测试 | 第47-61页 |
| §5.1 MEMS封装的特性 | 第47-54页 |
| §5.2 实验室测试 | 第54-61页 |
| 第六章 未来工作展望及工作总结 | 第61-65页 |
| §6.1 未来工作展望 | 第61-62页 |
| §6.2 共面三轴加速度计设计思想 | 第62-64页 |
| §6.3 全文总结 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 长春理工大学硕士学位论文原创性声明 | 第69页 |
| 长春理工大学学位论文版权使用授权书 | 第69页 |