多晶硅微悬臂梁断裂失效的可靠性模型建立
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-11页 |
| ·MEMS特点及发展 | 第8-9页 |
| ·MEMS面临的挑战 | 第9页 |
| ·MEMS可靠性的重要性及可靠性技术的主要内容 | 第9-10页 |
| ·本篇论文的主要工作 | 第10-11页 |
| 第二章 MEMS可靠性研究 | 第11-23页 |
| ·可靠性基础 | 第11-12页 |
| ·宏观机械结构可靠性研究的方法 | 第12-14页 |
| ·结构可靠性 | 第12页 |
| ·数学模型法 | 第12页 |
| ·物理原因法 | 第12-13页 |
| ·可靠度 | 第13-14页 |
| ·MEMS器件结构的失效模式及失效机理 | 第14-18页 |
| ·MEMS器件的常用结构 | 第14-15页 |
| ·MEMS器件常见的失效模式 | 第15-16页 |
| ·MEMS器件的失效机理 | 第16-18页 |
| ·断裂失效 | 第18-22页 |
| ·MEMS器件的断裂失效现象 | 第18-21页 |
| ·断裂失效机理 | 第21页 |
| ·强度理论 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 微悬臂梁在静态载荷下的强度可靠性分析 | 第23-32页 |
| ·微悬臂梁的结构及载荷情况 | 第23-24页 |
| ·基于威布尔分布的可靠性模型 | 第24-27页 |
| ·工艺误差的影响及残余应力的计算 | 第24-25页 |
| ·威布尔模型的可靠性一般表达 | 第25-26页 |
| ·拉伸受力与垂直受力下的强度可靠性预测模型 | 第26-27页 |
| ·静载荷下应力-强度可靠性分析 | 第27-31页 |
| ·应力-强度可靠性模型 | 第27-28页 |
| ·静载荷下的可靠度计算 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 微悬臂梁动态冲击载荷下的强度可靠性分析 | 第32-46页 |
| ·结构环境及外加载荷 | 第32-33页 |
| ·微悬臂梁在冲击下的响应分析 | 第33-39页 |
| ·冲击载荷 | 第33-34页 |
| ·MEMS微悬臂梁的动态特性 | 第34-35页 |
| ·微悬臂梁在冲击下的响应及分析 | 第35-39页 |
| ·微悬臂梁的强度分析 | 第39-41页 |
| ·冲击下可靠性模型的建立 | 第41-45页 |
| ·可靠度的计算 | 第41-43页 |
| ·冲击下可靠度的数值计算 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 微悬臂梁在冲击下的实验 | 第46-58页 |
| ·实验目的与意义 | 第46页 |
| ·实验样品制备 | 第46-49页 |
| ·微悬臂梁结构的工艺流程 | 第46-47页 |
| ·结构版图的设计 | 第47-49页 |
| ·冲击实验方法 | 第49-51页 |
| ·冲击强度和冲击仪器 | 第49-50页 |
| ·实验步骤 | 第50-51页 |
| ·实验结果 | 第51-56页 |
| ·梁的断裂失效情况 | 第51-54页 |
| ·实例分析 | 第54-56页 |
| ·结果讨论 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第六章 结束语 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
