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氮气放电在氮掺杂及氮化物合成中的应用

摘要第1-7页
Abstract第7-10页
第一章 序言第10-14页
 参考文献第13-14页
第二章 氮离子注入系统第14-26页
   ·非平衡状态下制备材料中的离子技术第15-18页
   ·氮离子注入系统的整体设计与结构第18-20页
   ·空心阴极放电氮离子束源装置第20-21页
   ·离子束的表征—飞行时间质谱第21-24页
   ·本章小结第24-25页
 参考文献第25-26页
第三章 氮离子束源的特性分析第26-38页
   ·氮离子束源研究进展第26-30页
   ·放电条件对于氮气解离的影响第30-34页
   ·混合气体对于氮气解离的影响第34-36页
   ·本章小结第36-37页
 参考文献第37-38页
第四章 离子注入方法制备掺氮氧化钛第38-62页
   ·纳米 TiO_2光催化材料概述第38-39页
     ·纳米 TiO_2光催化剂的优点及其应用领域第38页
     ·目前纳米氧化钛光催化材料的发展近况及存在的问题第38-39页
   ·关于掺氮氧化钛的光吸收和光催化机理的讨论第39-41页
     ·光催化作用机理第39-40页
     ·掺氮 TiO_2光催化材料的研究现状第40-41页
   ·掺氮氧化钛的制备第41-47页
     ·脉冲激光沉积(PLD)方法第41-44页
     ·磁控溅射方法第44-47页
     ·氮离子注入第47页
   ·掺氮氧化钛的特性分析第47-57页
     ·脉冲激光沉积的TiO_2膜的氮掺杂结果第47-53页
       ·AFM第48页
       ·掺氮 PLD氧化钛的结构第48-49页
       ·XPS第49-51页
       ·UV-VIS吸收谱第51-52页
       ·光催化反应第52-53页
     ·磁控溅射 TiO_2膜的氮掺杂第53-57页
       ·AFM第53-55页
       ·XPS第55-56页
       ·光催化反应第56-57页
   ·本章小结第57-59页
 参考文献第59-62页
第五章 快脉冲氮气放电沉积纳米碳氮薄膜第62-76页
   ·碳氮薄膜—寄予厚望的场发射材料第62-63页
   ·快脉冲氮气放电沉积碳氮薄膜第63-67页
   ·碳氮薄膜的形貌与结构第67-72页
   ·结论第72-74页
 参考文献第74-76页
第六章 快脉冲放电沉积碳氮薄膜的电学性能第76-85页
   ·碳氮薄膜的电学性能第76-79页
   ·碳氮薄膜的场发射特性第79-82页
   ·结论第82-84页
 参考文献第84-85页
第七章 工作总结第85-87页
致谢第87-88页
攻读博士期间发表的文章第88-89页

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