| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-4页 |
| 目录 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-21页 |
| ·MEMS加工技术 | 第6-10页 |
| ·表面微加工技术 | 第6-7页 |
| ·体硅微加工技术 | 第7-9页 |
| ·三维微光刻技术 | 第9-10页 |
| ·微光学元件的自组装技术 | 第10页 |
| ·基于MEMS技术的Fabry-Perot滤波器 | 第10-15页 |
| ·F-P腔结构的传感器 | 第15-19页 |
| ·本论文的研究内容工作 | 第19-21页 |
| 第二章 FABRY-PEROT滤波器特性及结构设计 | 第21-48页 |
| ·F-P滤波器的光学特性 | 第21-27页 |
| ·多光束干涉原理 | 第21-23页 |
| ·重要的特性参量 | 第23-27页 |
| ·器件结构设计 | 第27-46页 |
| ·振动极板设计 | 第27-30页 |
| ·镜面的选择 | 第30-31页 |
| ·金属反射率与厚度的关系 | 第31-39页 |
| ·上极板的力学特性 | 第39-46页 |
| ·本章总结 | 第46-48页 |
| 第三章 Fabry-Perot滤波器的制作和测试 | 第48-67页 |
| ·Fabry-Perot滤波器的关键工艺设计 | 第48-54页 |
| ·阳极键合技术 | 第48-49页 |
| ·腔体制作技术 | 第49-52页 |
| ·整体减薄技术 | 第52-53页 |
| ·下电极上引技术 | 第53-54页 |
| ·Fabry-Perot滤波器工艺流程设计和版图设计 | 第54-58页 |
| ·工艺流程设计 | 第54-57页 |
| ·掩膜板的设计 | 第57-58页 |
| ·Fabry-Perot滤波器制作结果 | 第58-62页 |
| ·Fabry-Perot滤波器测试结果及讨论 | 第62-65页 |
| ·电学特性测试 | 第62-63页 |
| ·光学特性测试 | 第63-65页 |
| ·测试结果的讨论 | 第65页 |
| ·存在问题的讨论 | 第65-67页 |
| 第四章 总结 | 第67-69页 |
| ·本论文的主要内容 | 第67页 |
| ·下一步工作的展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 学位论文独创性声明 | 第74页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第74页 |