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迈克尔逊干涉仪法测量薄膜反射率的研究

摘要第1-3页
Abstract第3-5页
目录第5-7页
第一章 绪论第7-20页
 §1.1 迈克尔逊干涉仪的发展历史第7-9页
 §1.2 薄膜反射率的测量方法第9-16页
 §1.3 研究内容第16-18页
 参考文献第18-20页
第二章 迈克尔逊干涉仪系统组成及其原理第20-45页
 §2.1 典型迈克尔逊干涉仪组成及其特点第20-24页
 §2.2 迈克尔逊光纤干涉仪系统的组成第24-35页
 §2.3 迈克尔逊干涉仪系统的原理及性能参数第35-42页
 参考文献第42-45页
第三章 迈克尔逊干涉仪法测量薄膜反射率的原理及其系统组成第45-66页
 §3.1 迈克尔逊光纤干涉仪的系统组成第45-56页
  §3.1.1 迈克尔逊光纤干涉仪系统的整体结构第45-46页
  §3.1.2 迈克尔逊光纤干涉仪系统各部分组成及部分系统参数第46-56页
  §3.1.3 迈克尔逊光纤干涉仪系统实物图第56页
 §3.2 迈克尔逊干涉仪法测量薄膜反射率的基本原理第56-65页
  §3.2.1 测量原理第56-61页
  §3.2.2 数据处理方法第61-65页
 参考文献第65-66页
第四章 实验结果与分析第66-77页
 §4.1 样品的制备第66-67页
 §4.2 基于干涉仪系统获得的实验数据第67-73页
  §4.2.1 实验数据,处理及结果第67-70页
  §4.2.2 光谱分辨率第70-73页
 §4.3 误差及缺陷分析第73-76页
 §4.4 测试方法的优缺点第76-77页
第五章 总结与展望第77-78页
致谢第78页

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