摘要 | 第1-3页 |
Abstract | 第3-5页 |
目录 | 第5-7页 |
第一章 绪论 | 第7-20页 |
§1.1 迈克尔逊干涉仪的发展历史 | 第7-9页 |
§1.2 薄膜反射率的测量方法 | 第9-16页 |
§1.3 研究内容 | 第16-18页 |
参考文献 | 第18-20页 |
第二章 迈克尔逊干涉仪系统组成及其原理 | 第20-45页 |
§2.1 典型迈克尔逊干涉仪组成及其特点 | 第20-24页 |
§2.2 迈克尔逊光纤干涉仪系统的组成 | 第24-35页 |
§2.3 迈克尔逊干涉仪系统的原理及性能参数 | 第35-42页 |
参考文献 | 第42-45页 |
第三章 迈克尔逊干涉仪法测量薄膜反射率的原理及其系统组成 | 第45-66页 |
§3.1 迈克尔逊光纤干涉仪的系统组成 | 第45-56页 |
§3.1.1 迈克尔逊光纤干涉仪系统的整体结构 | 第45-46页 |
§3.1.2 迈克尔逊光纤干涉仪系统各部分组成及部分系统参数 | 第46-56页 |
§3.1.3 迈克尔逊光纤干涉仪系统实物图 | 第56页 |
§3.2 迈克尔逊干涉仪法测量薄膜反射率的基本原理 | 第56-65页 |
§3.2.1 测量原理 | 第56-61页 |
§3.2.2 数据处理方法 | 第61-65页 |
参考文献 | 第65-66页 |
第四章 实验结果与分析 | 第66-77页 |
§4.1 样品的制备 | 第66-67页 |
§4.2 基于干涉仪系统获得的实验数据 | 第67-73页 |
§4.2.1 实验数据,处理及结果 | 第67-70页 |
§4.2.2 光谱分辨率 | 第70-73页 |
§4.3 误差及缺陷分析 | 第73-76页 |
§4.4 测试方法的优缺点 | 第76-77页 |
第五章 总结与展望 | 第77-78页 |
致谢 | 第78页 |