| 1 绪论 | 第1-18页 |
| ·应用背景 | 第9-12页 |
| ·电容传感器 | 第9-11页 |
| ·三维水银电容加速度传感器 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-16页 |
| ·本课题完成的工作及研究内容 | 第16-18页 |
| 2 传感器的电容测量原理 | 第18-21页 |
| ·电容器的内电场 | 第18-19页 |
| ·电容传感器的等效电路 | 第19-21页 |
| 3 基于专用集成电路的微小电容测量电路的设计 | 第21-41页 |
| ·专用集成电路QTM2000模块 | 第21页 |
| ·QTM2000模块电路简介 | 第21页 |
| ·QTM2000模块电路的工作原理 | 第21页 |
| ·QTM2000模块构成的微小电容测量电路 | 第21-23页 |
| ·QTM2000模块构成微小电容测量电路的逻辑框图 | 第21-22页 |
| ·QTM2000模块构成的微小电容测量电路的工作原理 | 第22-23页 |
| ·QTM2000模块构成微小电容测量电路的主要元器件性能描述 | 第23-39页 |
| ·QTM2000模块的应用 | 第23-27页 |
| ·Max232电平转换器的应用 | 第27-30页 |
| ·BG和OBJ两种开关的应用 | 第30-31页 |
| ·LCM045通用仪器仪表液晶显示模块的应用 | 第31-34页 |
| ·复杂可编程逻辑器件CPLD的应用 | 第34-39页 |
| ·QTM2000模块构成的微小电容测量电路的性能指标和实物照片 | 第39-41页 |
| 4 基于电荷放大原理的微小电容测量电路的设计 | 第41-66页 |
| ·概述 | 第41页 |
| ·基于电荷放大原理的电容测量电路的工作原理 | 第41-43页 |
| ·开关的电荷注入效应分析 | 第43-44页 |
| ·基于电荷放大原理的电容测量电路的设计 | 第44-63页 |
| ·开关时序的设计 | 第44-53页 |
| ·电荷放大器的设计 | 第53-55页 |
| ·采样保持器的设计 | 第55-57页 |
| ·仪表放大器的设计 | 第57-60页 |
| ·基于电荷放大原理的电容测量电路的实物照片 | 第60页 |
| ·印制电路板设计原则和抗干扰措施 | 第60-63页 |
| ·基于电荷放大原理的电容测量电路的实验验证 | 第63-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 5 多电极电容测量方法的研究 | 第66-81页 |
| ·三维水银电容加速度传感器 | 第66-76页 |
| ·三维水银电容加速度传感器的应用背景 | 第66-67页 |
| ·三维水银电容加速度传感器的原理仿真 | 第67-70页 |
| ·三维水银电容加速度传感器的模型 | 第70-71页 |
| ·三维水银电容加速度传感器拟实现的结构 | 第71-73页 |
| ·三维水银电容加速度传感器电极、容腔、装配结构的实物照片 | 第73-76页 |
| ·三维水银电容加速度传感器的应用前景 | 第76页 |
| ·多电极电容测量原理 | 第76-77页 |
| ·多电极电容测量电路的设计 | 第77-81页 |
| 结束语 | 第81-82页 |
| 附录1 QTM2000模块构成微小电容测量电路的电路原理图 | 第82-83页 |
| 附录2 基于电荷放大原理的微小电容测量电路的电路原理图 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
