射频溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜及性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 第一章 文献综述 | 第6-20页 |
| ·透明导电氧化物薄膜概述 | 第6-8页 |
| ·氧化锌透明导电膜 | 第8-17页 |
| ·氧化锌的晶体结构 | 第8-9页 |
| ·氧化锌的导电机理和搀杂 | 第9-10页 |
| ·氧化锌薄膜的制备方法 | 第10-17页 |
| ·AZO透明导电薄膜的应用 | 第17-18页 |
| ·透明导电膜的未来发展趋势 | 第18-19页 |
| ·实验研究的目的和意义 | 第19-20页 |
| 第二章 实验方法及过程 | 第20-31页 |
| ·溅射镀膜装置 | 第20-21页 |
| ·实验材料 | 第21页 |
| ·衬底的预处理 | 第21-22页 |
| ·实验参数及过程 | 第22-23页 |
| ·样品分析与检测 | 第23-31页 |
| 第三章 氧化锌薄膜的生长特性及形貌组织分析 | 第31-51页 |
| ·、 薄膜的生长特性 | 第31-34页 |
| ·薄膜的表面形貌 | 第34-42页 |
| ·不同压强下样品的表面形貌 | 第34-38页 |
| ·不同功率下样品的表面形貌 | 第38-42页 |
| ·薄膜的成分分析 | 第42-44页 |
| ·薄膜的结构及(002)织构分析 | 第44-47页 |
| ·小结 | 第47-51页 |
| 第四章 薄膜的光电性能 | 第51-63页 |
| ·薄膜的电学性能 | 第51-58页 |
| ·氧化锌薄膜的导电机理 | 第51-54页 |
| ·沉积压强对氧化锌薄膜电学性能的影响 | 第54-56页 |
| ·射频功率对氧化锌薄膜电学性能的影响 | 第56-58页 |
| ·薄膜的光学性能 | 第58-62页 |
| ·不同压强下制备的氧化锌薄膜的光学性能 | 第58-61页 |
| ·不同功率下制备的氧化锌薄膜的光学性能 | 第61-62页 |
| ·小结 | 第62-63页 |
| 第五章 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 附录: 攻读硕士期间发表的论文 | 第70页 |
