| 第一章 绪论 | 第1-11页 |
| §1．1 引言 | 第8页 |
| §1．2 国内外研究现状 | 第8-10页 |
| §1．3 本文工作概述 | 第10-11页 |
| 第二章 直流磁控溅射及真空成膜原理 | 第11-18页 |
| §2．1 概述 | 第11-12页 |
| §2．2 溅射镀膜的基本原理 | 第12-14页 |
| §2．2．1 直流辉光放电原理 | 第12-14页 |
| §2．2．2 溅射与成膜 | 第14页 |
| §2．3 磁控溅射对薄膜磁性能的影响 | 第14-18页 |
| 第三章 软磁薄膜基本特性及CoNbZr薄膜性能研究 | 第18-23页 |
| §3．1 软磁薄膜基本特性 | 第18-21页 |
| §3．1．1 薄膜的自发磁化 | 第18-19页 |
| §3．1．2 薄膜的形状各向异性 | 第19-20页 |
| §3．1．3 软磁薄膜材料中存在的损耗 | 第20-21页 |
| §3．2 CoNbZr高频软磁薄膜性能研究 | 第21-23页 |
| 第四章 薄膜电感设计与理论模拟 | 第23-44页 |
| §4．1 薄膜电感概述 | 第23-24页 |
| §4．2 薄膜电感的绕线形式 | 第24-26页 |
| §4．3 薄膜电感表面磁场的分布 | 第26-31页 |
| §4．4 不同绕线形状薄膜电感计算模型 | 第31-41页 |
| §4．4．1 圆形螺旋形电感模型 | 第31-36页 |
| §4．4．2 矩形螺旋形电感模型 | 第36-39页 |
| §4．4．3 折线形电感模型 | 第39-41页 |
| §4．5 不同绕线形状薄膜电感计算值与测量值对比 | 第41-44页 |
| 第五章 薄膜电感实验设计及性能研究 | 第44-58页 |
| §5．1 薄膜电感实验设计 | 第44-46页 |
| §5．1．1 薄膜电感研究方案 | 第44-45页 |
| §5．1．2 薄膜电感的制作 | 第45-46页 |
| §5．2 薄膜厚度对薄膜电感性能的影响 | 第46-51页 |
| §5．3 绕线形状对薄膜电感性能的影响 | 第51-53页 |
| §5．4 改进型薄膜电感 | 第53-56页 |
| §5．5 “三明治”型薄膜电感 | 第56-58页 |
| 第六章 结束语 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 个人简历 | 第63页 |