| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-11页 |
| 第2章 ZnO综述 | 第11-24页 |
| ·ZnO薄膜的性质 | 第11-14页 |
| ·ZnO晶体结构性质 | 第11-13页 |
| ·ZnO光学性质 | 第13-14页 |
| ·ZnO电学性质 | 第14页 |
| ·ZnO本征缺陷、极性掺杂及Mg的掺杂 | 第14-17页 |
| ·ZnO中的本征缺陷 | 第14-15页 |
| ·ZnO的极性掺杂 | 第15-17页 |
| ·掺杂Mg的ZnO(可调带隙的掺杂) | 第17页 |
| ·ZnO的应用 | 第17-19页 |
| ·紫外光探测器 | 第17-18页 |
| ·太阳能电池 | 第18页 |
| ·发光器件 | 第18-19页 |
| ·ZnO制备方法 | 第19-24页 |
| ·磁控溅射法(Magnetron Sputtering) | 第19-20页 |
| ·脉冲激光沉积法(Pulsed Laser Deposition) | 第20-21页 |
| ·喷雾热解法(Spray pyrolysis) | 第21页 |
| ·分子束外延(MBE) | 第21-22页 |
| ·化学气相沉积法(CVD) | 第22-23页 |
| ·溶胶-凝胶法(sol-gel) | 第23-24页 |
| 第3章 溶胶—凝胶法制备Na-Mg共掺ZnO薄膜 | 第24-32页 |
| ·溶胶—凝胶法制备薄膜的基本原理 | 第24-25页 |
| ·溶胶—凝胶法制备薄膜的方法 | 第25-26页 |
| ·喷涂法 | 第25页 |
| ·旋转涂覆法 | 第25-26页 |
| ·浸渍提拉法 | 第26页 |
| ·溶胶-凝胶法制备薄膜的特点 | 第26-27页 |
| ·ZnO薄膜的形成原理 | 第27-28页 |
| ·实验机理 | 第27-28页 |
| ·ZnO薄膜生长机制 | 第28页 |
| ·本论文所用试剂及仪器介绍 | 第28-30页 |
| ·化学试剂 | 第28-29页 |
| ·仪器设备 | 第29-30页 |
| ·Na-Mg共掺ZnO薄膜的制备过程 | 第30-32页 |
| ·溶胶的配制 | 第30页 |
| ·Na-Mg共掺ZnO薄膜的制备工艺流程 | 第30-32页 |
| 第4章 Na-Mg共掺杂的ZnO薄膜结构性能表征及分析 | 第32-54页 |
| ·不同掺杂浓度对ZnO薄膜性质的影响 | 第32-42页 |
| ·不同掺杂浓度对ZnO薄膜结晶性能的影响 | 第32-34页 |
| ·不同掺杂浓度对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第34-37页 |
| ·不同掺杂浓度对ZnO薄膜禁带宽度的影响 | 第37-40页 |
| ·不同掺杂浓度对ZnO薄膜发光性质的影响 | 第40-42页 |
| ·不同退火温度对ZnO薄膜性质的影响 | 第42-48页 |
| ·不同退火温度对ZnO薄膜结晶性能的影响 | 第42-45页 |
| ·不同退火温度对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第45-47页 |
| ·不同退火温度对ZnO薄膜禁带宽度的影响 | 第47-48页 |
| ·不同旋涂层数对ZnO薄膜性质的影响 | 第48-53页 |
| ·不同旋涂层数对ZnO薄膜结晶性能的影响 | 第49-50页 |
| ·不同旋涂层数对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第50-52页 |
| ·不同旋涂层数对ZnO薄膜禁带宽度的影响 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 结论及展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
