| 摘要 | 第1-14页 |
| ABSTRACT | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-35页 |
| ·课题的来源及意义 | 第16-20页 |
| ·课题的来源 | 第16页 |
| ·课题研究的背景和意义 | 第16-20页 |
| ·国内外现状 | 第20-33页 |
| ·亚表面损伤模型及其产生机理 | 第20-25页 |
| ·亚表面损伤检测及其表征方法 | 第25-29页 |
| ·加工参数对亚表面损伤的影响规律 | 第29-30页 |
| ·亚表面损伤的抑制策略 | 第30-33页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第33-35页 |
| 第二章 光学材料磨削及研磨亚表面损伤检测技术 | 第35-60页 |
| ·亚表面损伤形式 | 第35-38页 |
| ·亚表面裂纹 | 第36-37页 |
| ·表面/亚表面残余应力 | 第37-38页 |
| ·亚表面损伤检测技术与实验方案 | 第38-49页 |
| ·截面显微法 | 第38-39页 |
| ·角度抛光法 | 第39-40页 |
| ·磁流变抛光法 | 第40-46页 |
| ·X射线衍射法 | 第46-47页 |
| ·HF酸差动化学蚀刻速率法 | 第47-49页 |
| ·一种无损、快速和低成本的亚表面损伤检测技术 | 第49-58页 |
| ·压痕断裂力学理论基础 | 第50-52页 |
| ·亚表面裂纹深度与表面粗糙度间非线性关系模型 | 第52-55页 |
| ·基于表面粗糙度的亚表面裂纹深度检测技术 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第三章 光学材料磨削亚表面损伤的研究 | 第60-74页 |
| ·材料特性和磨削参数对亚表面裂纹深度的影响规律 | 第60-69页 |
| ·磨削实验方案 | 第60-61页 |
| ·磨削力的检测 | 第61-63页 |
| ·亚表面裂纹深度的检测 | 第63-64页 |
| ·材料特性和磨削参数对亚表面裂纹深度的影响规律 | 第64-69页 |
| ·表面/亚表面残余应力分析 | 第69-72页 |
| ·表面残余应力 | 第69-70页 |
| ·亚表面残余应力 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第四章 光学材料研磨亚表面裂纹表征及深度预测方法 | 第74-94页 |
| ·研磨亚表面裂纹表征方法 | 第74-80页 |
| ·群集深度 | 第74-75页 |
| ·最大深度 | 第75-78页 |
| ·裂纹密度沿深度分布 | 第78-80页 |
| ·研磨亚表面裂纹深度预测方法 | 第80-91页 |
| ·理论模型 | 第80-82页 |
| ·材料特性和研磨参数对亚表面裂纹深度影响规律的仿真结果 | 第82-86页 |
| ·材料特性和研磨参数对亚表面裂纹深度影响规律的实验结果 | 第86-91页 |
| ·基于亚表面裂纹深度控制的高效研磨工艺路线 | 第91-92页 |
| ·本章小结 | 第92-94页 |
| 第五章 光学材料抛光亚表面损伤检测及其抑制策略 | 第94-115页 |
| ·传统抛光亚表面损伤检测及其产生机理研究 | 第94-107页 |
| ·表面水解层 | 第94-101页 |
| ·亚表面塑性划痕 | 第101-106页 |
| ·传统抛光亚表面损伤模型 | 第106-107页 |
| ·传统抛光亚表面损伤的抑制策略 | 第107-113页 |
| ·磁流变抛光对传统抛光亚表面损伤的抑制能力 | 第107-110页 |
| ·离子束加工对表面水解层的抑制能力 | 第110-113页 |
| ·本章小结 | 第113-115页 |
| 第六章 基于亚表面损伤控制的光学元件加工实例 | 第115-127页 |
| ·φ500mm抛物面镜的高效加工 | 第115-121页 |
| ·磨削加工 | 第116-118页 |
| ·研磨加工 | 第118-120页 |
| ·抛光加工 | 第120-121页 |
| ·复合加工及后处理技术提高激光损伤阂值 | 第121-125页 |
| ·复合加工及后处理实验 | 第122页 |
| ·激光损伤阈值检测 | 第122-125页 |
| ·本章小结 | 第125-127页 |
| 第七章 总结与展望 | 第127-131页 |
| ·全文总结 | 第127-129页 |
| ·研究展望 | 第129-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
| 参考文献 | 第132-140页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第140页 |