引信微机电气动换能器设计及性能数值分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8页 |
| ·引信物理电源概述 | 第8-11页 |
| ·引信物理电源特性及种类 | 第8-9页 |
| ·引信射流发电机概述 | 第9-11页 |
| ·MEMS技术应用 | 第11-12页 |
| ·MEMS技术概述 | 第11-12页 |
| ·MEMS技术在引信气动换能器中的应用前景 | 第12页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 2 引信MEMS气动换能器的设计原理分析 | 第14-28页 |
| ·引信MEMS气动换能器的使用要求 | 第14页 |
| ·引信气动换能器应用环境分析 | 第14-16页 |
| ·能量转换装置概述 | 第16-20页 |
| ·能量转换装置类型选择 | 第16-18页 |
| ·压电式振动能量转换装置国内外研究现状 | 第18-20页 |
| ·压电材料产能原理概述 | 第20-23页 |
| ·压电材料和压电效应 | 第20-21页 |
| ·压电方程 | 第21-22页 |
| ·压电模式 | 第22-23页 |
| ·压电悬臂梁能量转换装置理论分析 | 第23-27页 |
| ·压电悬臂梁的理论模型 | 第23-24页 |
| ·压电悬臂梁的类型选择 | 第24-25页 |
| ·双晶压电悬臂梁输出电压公式推导 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 引信MEMS气动换能器结构设计 | 第28-41页 |
| ·引信MEMS气动换能器的初始结构 | 第28-34页 |
| ·结构设计思路 | 第28页 |
| ·三种初始结构类型设计 | 第28-30页 |
| ·三种初始结构类型仿真比较 | 第30-34页 |
| ·压电振子结构设计 | 第34-39页 |
| ·压电振子材料的选择 | 第34-35页 |
| ·压电振子结构形式的理论分析 | 第35-37页 |
| ·压电振子结构形式仿真分析 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 4 引信MEMS气动换能器结构改进和数值分析 | 第41-57页 |
| ·引信MEMS气动换能器结构改进 | 第41-43页 |
| ·改进结构类型一 | 第41-42页 |
| ·改进结构类型二 | 第42-43页 |
| ·引信MEMS气动换能器模拟数值分析 | 第43-50页 |
| ·压电振子倾斜度的参数优化 | 第44页 |
| ·压电振子距离值的参数优化 | 第44-46页 |
| ·腔体入口宽度的参数优化 | 第46-47页 |
| ·压电振子尺寸的参数优化 | 第47-50页 |
| ·引信MEMS气动换能器发电性能分析 | 第50-56页 |
| ·压电振子压电耦合静力仿真分析 | 第51-52页 |
| ·压电振子模态分析 | 第52-53页 |
| ·压电振子谐响应分析 | 第53-54页 |
| ·气动换能器输出功率计算 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 引信MEMS气动换能器工艺技术 | 第57-64页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第57-59页 |
| ·体硅微加工概述 | 第57-58页 |
| ·体硅等离子深刻蚀概述 | 第58-59页 |
| ·硅片键合技术概述 | 第59页 |
| ·MEMS气动换能器加工工艺设计 | 第59-63页 |
| ·压电悬臂梁结构的加工工艺设计 | 第59-62页 |
| ·气动换能器腔体结构的加工工艺设计 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 6 论文总结及展望 | 第64-66页 |
| ·论文总结 | 第64-65页 |
| ·论文创新点 | 第65页 |
| ·论文展望与工作建议 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录 | 第70页 |
