半导体电阻率涡流检测智能仪器的设计与实现
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-10页 |
| ·课题的研究背景 | 第7-8页 |
| ·半导体测试技术概况 | 第7-8页 |
| ·涡流方法的特点及应用领域 | 第8页 |
| ·课题的研究意义 | 第8-9页 |
| ·本文的研究内容和课题的研究方法 | 第9-10页 |
| 2 测试系统的原理及分析 | 第10-15页 |
| ·涡流检测的原理及等效电路 | 第10-12页 |
| ·涡流检测的原理 | 第10-11页 |
| ·涡流检测系统的等效电路 | 第11-12页 |
| ·涡流与频率以及检测距离之间的关系 | 第12-13页 |
| ·检测系统的结构 | 第13-15页 |
| 3 探头线圈的3D建模与电磁场分析 | 第15-23页 |
| ·3D电磁场仿真工具CST介绍 | 第15-16页 |
| ·电磁场的基本理论 | 第16-18页 |
| ·麦克斯韦方程组 | 第16页 |
| ·麦克斯韦方程组的辅助方程——本构关系 | 第16-17页 |
| ·时变电磁场的边界条件 | 第17-18页 |
| ·探头线圈物理模型的建立 | 第18-21页 |
| ·问题的提出 | 第18页 |
| ·几何建模与材料定义 | 第18-19页 |
| ·网格划分 | 第19-20页 |
| ·边界条件的确定 | 第20-21页 |
| ·求解和后处理 | 第21-23页 |
| ·感应电磁场磁力线分布 | 第21页 |
| ·被测体中的涡流分布 | 第21-22页 |
| ·线圈上的电压值 | 第22-23页 |
| 4 探头线圈的性能分析 | 第23-31页 |
| ·输入频率对测量结果的影响 | 第23-24页 |
| ·检测距离对测量结果的影响 | 第24-25页 |
| ·线圈尺寸对检测结果的影响 | 第25-28页 |
| ·内径的影响 | 第25-27页 |
| ·外径的影响 | 第27-28页 |
| ·材料尺寸对检测结果的影响 | 第28页 |
| ·材料厚度对检测结果的影响 | 第28-29页 |
| ·本章小节 | 第29-31页 |
| 5 检测电路的设计 | 第31-51页 |
| ·电路的实现方案 | 第31-32页 |
| ·恒流源电路的设计 | 第32-37页 |
| ·振荡源电路 | 第32-34页 |
| ·滤波电路 | 第34-36页 |
| ·U-I转换电路 | 第36-37页 |
| ·微弱信号采集和处理电路的设计 | 第37-44页 |
| ·锁定放大器的原理 | 第37-38页 |
| ·锁定放大器的结构 | 第38-39页 |
| ·锁定放大器的性能 | 第39-41页 |
| ·微弱信号处理电路的实现 | 第41-44页 |
| ·设备终端的设计 | 第44-48页 |
| ·PIC16F877A单片机简介 | 第44-45页 |
| ·PIC16F877A基本电路的设计 | 第45-46页 |
| ·数据采集与显示电路的实现 | 第46-48页 |
| ·实测效果以及整体电路性能分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 6 结论与展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-56页 |
