| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·紫外成像探测器的研究背景及意义 | 第10-15页 |
| ·紫外成像探测器的应用 | 第10-12页 |
| ·紫外成像探测器的分类 | 第12-14页 |
| ·基于MCP的阳极探测器特点 | 第14-15页 |
| ·基于MCP的阳极探测器国内外进展 | 第15-17页 |
| ·本文的主要研究内容及成果 | 第17-19页 |
| 参考文献 | 第19-22页 |
| 第二章 基于MCP的紫外光子计数成像探测器(UV-PCID) | 第22-44页 |
| ·光子计数成像技术 | 第22-24页 |
| ·光子计数技术 | 第22页 |
| ·光子的量子特性 | 第22-23页 |
| ·光子计数成像技术 | 第23-24页 |
| ·MCP-UV-PCID的工作原理 | 第24-27页 |
| ·直接读出方式的MCP-UV-PCID | 第24-25页 |
| ·感应读出方式的MCP-UV-PCID | 第25-27页 |
| ·MCP-UV-PCID的组成及各部分的作用原理 | 第27-40页 |
| ·输入窗 | 第27-28页 |
| ·光阴极 | 第28-29页 |
| ·微通道板 | 第29-32页 |
| ·位敏阳极 | 第32-40页 |
| ·电子读出系统 | 第40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-44页 |
| 第三章 基于MCP的极紫外光子计数成像探测器(EUV-PCID)研制 | 第44-62页 |
| ·应用背景和任务需求 | 第44-46页 |
| ·MCP-EUV-PCID各部分组成及工作原理 | 第46-58页 |
| ·紫外光源 | 第47-48页 |
| ·MCP和高压电源 | 第48-49页 |
| ·WSA及其工艺制作 | 第49-52页 |
| ·电荷灵敏放大器 | 第52-54页 |
| ·整形放大器 | 第54-56页 |
| ·真空系统 | 第56-57页 |
| ·数据采集和处理 | 第57-58页 |
| ·实验样机的研制和初步测试 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
| 第四章 采用WSA直接收集电荷法的EUV-PCID的性能研究 | 第62-82页 |
| ·直接读出方式的WSA探测器结构 | 第62-63页 |
| ·NO.1-WSA-EUV-PCID的性能研究 | 第63-72页 |
| ·增益特性研究 | 第63-67页 |
| ·分辨率性能研究 | 第67-69页 |
| ·计数率性能研究 | 第69-70页 |
| ·线性度性能研究 | 第70-72页 |
| ·NO.2-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第72-75页 |
| ·NO.3-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第75-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-82页 |
| 第五章 采用WSA感应收集电荷法的EUV-PCID的性能研究 | 第82-116页 |
| ·感应读出方式的WSA探测器结构 | 第82-83页 |
| ·MCP-Ge间距为10mm的NO.2-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第83-96页 |
| ·石英基底(3mm)的NO.2-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第83-89页 |
| ·石英基底(2mm)的NO.2-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第89-91页 |
| ·陶瓷基底(2mm)的NO.2-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第91-96页 |
| ·MCP-Ge间距为1mm的NO.2-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第96-108页 |
| ·石英基底(2mm)的NO.2-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第97-99页 |
| ·陶瓷基底(2mm)的NO.2-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第99-102页 |
| ·Ge膜厚度对WSA-EUV-PCID性能的影响 | 第102-105页 |
| ·陶瓷厚度对WSA-EUV-PCID性能的影响 | 第105-108页 |
| ·MCP-Ge间距为1mm的NO.3-WSA-EUV-PCID性能研究 | 第108-112页 |
| ·暗计数性能研究 | 第108-109页 |
| ·分辨率性能研究 | 第109-110页 |
| ·线性度性能研究 | 第110-111页 |
| ·计数率性能研究 | 第111-112页 |
| ·本章小结 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-116页 |
| 第六章 图像校正、结论及分析 | 第116-134页 |
| ·直接收集方式的图像校正及分析 | 第116-121页 |
| ·实验结论 | 第121-122页 |
| ·感应读出方式的电荷云尺寸估计 | 第122-132页 |
| ·通过理论计算来估算电荷云的尺寸 | 第123-129页 |
| ·通过实验图像来估算电荷云的尺寸 | 第129-132页 |
| 参考文献 | 第132-134页 |
| 第七章 总结与展望 | 第134-138页 |
| ·全文总结 | 第134-136页 |
| ·工作展望 | 第136-138页 |
| 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第138-140页 |
| 致谢 | 第140-142页 |
| 附录:常用术语英文缩写与全文对照表 | 第142-143页 |
