共焦检测系统扫描采集与数据处理技术研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-15页
·课题研究的背景、目的和意义	第8-9页
·共焦检测技术简介及本课题国内外研究现状	第9-14页
·共焦检测技术简介	第9-10页
·共焦扫描实现途径	第10-13页
·共焦信号采集方法	第13-14页
·课题来源及主要研究内容	第14-15页
第2章 共焦检测原理	第15-23页
·引言	第15-16页
·薄透镜的傅里叶变换性质	第16页
·相干光学成像理论	第16-18页
·共焦检测原理	第18-22页
·共焦检测系统的横向分辨特性	第19-21页
·共焦检测系统的轴向分辨特性	第21-22页
·本章小结	第22-23页
第3章 扫描采集系统实现	第23-34页
·光学系统实现	第23页
·定位扫描系统实现	第23-30页
·定位扫描系统参数总体设计	第23-24页
·系统选型与性能介绍	第24-27页
·系统集成调校测试	第27-30页
·数据采集系统实现	第30-33页
·光信号接收与转换模块	第30-33页
·数据采集模块	第33页
·本章小结	第33-34页
第4章 扫描采集系统软件设计	第34-53页
·虚拟仪器与LabVIEW 软件介绍	第34-36页
·软件系统总体方案设计	第36-37页
·基于LabVIEW 的软件模块设计	第37-52页
·底层基础运动子模块介绍	第37-39页
·共焦检测系统定位瞄准功能模块设计	第39-40页
·共焦检测系统扫描采集功能模块设计	第40-48页
·具有拼接功能的软件系统集成	第48-52页
·本章小结	第52-53页
第5章 数据处理与实验结果	第53-62页
·基于伪峰剔除滤波算法的测量实验	第53-58页
·数据滤波处理的意义	第53-54页
·数据滤波处理的原理和步骤	第54-56页
·标准光栅共焦层析测量实验	第56-58页
·基于二维相关运算的拼接测量实验	第58-61页
·拼接实验的意义	第58页
·拼接实验的理论和方法	第58-59页
·典型MEMS 器件的测量实验	第59-61页
·本章小结	第61-62页
结论	第62-64页
参考文献	第64-68页
致谢	第68页