微小内尺度测量系统精度分析及若干关键问题研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-24页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·微小内尺度测量技术研究现状 | 第10-17页 |
| ·国外微小内尺度测量技术 | 第10-15页 |
| ·国内微小内尺度测量技术 | 第15-17页 |
| ·精度分析研究现状 | 第17-19页 |
| ·误差分析的研究现状 | 第17-18页 |
| ·测量不确定度分析的研究现状 | 第18-19页 |
| ·微小内尺度测量技术的精度分析现状 | 第19-23页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 微小内尺度测量系统组成及原理 | 第24-32页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·微小内尺度测量系统组成 | 第24-26页 |
| ·微小内尺度测量系统的测量原理及方法 | 第26-31页 |
| ·微小内尺度测量系统的测量原理 | 第26-28页 |
| ·微小内尺度测量系统的测量方法 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 微小内尺度测量系统测量不确定度评估模型 | 第32-53页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·不确定度评估理论基本内容 | 第32-36页 |
| ·测量结果的评估 | 第32-33页 |
| ·标准不确定度的评估 | 第33-35页 |
| ·合成标准不确定度与扩展不确定度的评估 | 第35-36页 |
| ·微小内尺度测量系统标准不确定度分量评估模型 | 第36-50页 |
| ·测量设备引入的标准不确定度分量评估模型 | 第37-44页 |
| ·测量方法引入的标准不确定度分量评估模型 | 第44-49页 |
| ·测量环境及人员引入的标准不确定度分量评估模型 | 第49-50页 |
| ·合成标准不确定度及扩展不确定度评估模型 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 微小内尺度测量系统测量不确定度参数检测 | 第53-73页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·测量设备引入的标准不确定度分量参数检测 | 第53-60页 |
| ·X 轴导轨直线度的检测 | 第53-55页 |
| ·光轴与X 轴不平行性的检测 | 第55-60页 |
| ·测量方法引入的标准不确定度分量参数检测 | 第60-72页 |
| ·工件倾斜角度的检测 | 第60-62页 |
| ·Z 向定位精度的检测 | 第62-64页 |
| ·Y 轴导轨测试及图像分辨力的检测 | 第64-70页 |
| ·瞄准触发测量引入的标准不确定度分量检测 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 微小内尺度测量实验及测量不确定度评估 | 第73-96页 |
| ·引言 | 第73页 |
| ·微小内尺度测量系统数据补偿方法 | 第73-80页 |
| ·瞄准触发测量延迟误差的数据补偿方法 | 第73-78页 |
| ·系统漂移误差的数据补偿方法 | 第78-80页 |
| ·微小内尺度测量系统测量实验结果 | 第80-88页 |
| ·微孔工件直径触测实验结果 | 第80-85页 |
| ·光纤测头直径标定实验结果 | 第85-88页 |
| ·微孔直径测量结果的不确定度评估 | 第88-95页 |
| ·测量设备引入的标准不确定度分量评估 | 第89-91页 |
| ·测量方法引入的标准不确定度分量评估 | 第91-93页 |
| ·测量环境及人员引入的标准不确定度分量评估 | 第93-94页 |
| ·测量结果的合成标准不确定度及扩展不确定度评估 | 第94-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 结论 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-102页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第102-104页 |
| 致谢 | 第104页 |
