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InAs/GaAsSb量子点外延生长与光学特性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第1章 绪论第8-16页
   ·半导体量子点第8-11页
     ·半导体量子点的制备方法第8-9页
     ·InAs/GaAs 应力自组装量子点第9-10页
     ·半导体量子点的应用第10-11页
   ·锑化物合金第11-13页
     ·锑化物三元合金的生长第12页
     ·InAs/GaAsSb 量子点第12-13页
   ·分子束外延技术第13-14页
   ·研究目的和意义第14-16页
第2章 实验方法第16-26页
   ·分子束外延生长第16-19页
     ·分子束外延系统第16-18页
     ·MBE 生长实验的一般步骤第18-19页
   ·材料分析方法第19-26页
     ·反射式高能电子衍射第19-21页
     ·透射电子显微镜第21-23页
     ·原子力显微镜第23-24页
     ·高分辨X 射线衍射技术第24-25页
     ·光致发光光谱测试技术第25-26页
第3章 InAs/GaAs 量子点分子束外延生长及形态控制第26-39页
   ·应力自组装原理第26-28页
     ·分子束外延的生长机理第26-27页
     ·外延生长的S-K 模式第27-28页
   ·InAs/GaAs 量子点的分子束外延生长第28-29页
   ·InAs/GaAs 量子点成核长大过程的RHEED 分析第29-31页
   ·生长工艺对InAs/GaAs 量子点密度和尺寸分布的影响第31-35页
     ·量子点密度和尺寸分布的测量第31-32页
     ·V/III 比对量子点密度和尺寸的影响第32-33页
     ·生长中断时间对量子点密度和尺寸的影响第33-35页
   ·中断工艺对发光特性的影响第35-38页
     ·光致发光谱的测量第35-36页
     ·中断时间对量子点发光的影响第36-38页
   ·本章小结第38-39页
第4章 Sb 浸渍法制备GaAsSb 及其界面结构研究第39-48页
   ·引言第39页
   ·GaAs/GaAsSb 超晶格的分子束外延生长第39-40页
   ·GaAs/GaAsSb 超晶格结构参数的测量第40-47页
     ·基于XRD 微结构分析第40-41页
     ·GaAs/GaAsSb 超晶格结构参数第41-44页
     ·GaAs/GaAsSb 界面质量分析第44-45页
     ·GaAs/GaAsSb 超晶格光学特性分析第45-47页
   ·本章小结第47-48页
第5章 InAs/GaAsSb 量子点分子束外延生长研究第48-54页
   ·引言第48-49页
   ·InAs/GaAsSb 量子点的生长第49页
   ·Sb 对量子点生长的影响第49-53页
     ·Sb 对量子点密度的影响第49-52页
     ·Sb 对量子点生长热力学分析第52-53页
   ·本章小结第53-54页
结论第54-55页
参考文献第55-62页
致谢第62页

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