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外延LSCO/PZT/LSCO铁电薄膜电容器的结构和性能

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 引言第10-19页
   ·铁电材料的物性及结构第10-12页
   ·外延Pb(Zr,Ti)O_3 薄膜的研究第12-15页
     ·制备外延Pb(Zr,Ti)O_3 薄膜的重要性第12-13页
     ·影响外延薄膜制备的因素第13-15页
     ·外延Pb(Zr,Ti)O_3 薄膜目前面临的主要问题第15页
   ·钙钛矿氧化物中的缺陷化学及其影响第15-18页
     ·(La,Sr)C0O_3 电极中的缺陷化学第16页
     ·Pb(Zr,Ti)O_3 中的缺陷化学第16-18页
   ·本论文的主要内容及意义第18-19页
第2章 外延LSCO/PZT/LSCO 异质结的制备及性能研究第19-34页
   ·外延PZT/LSCO/STO 异质结的制备第19-23页
     ·磁控溅射法(magnetron sputtering)第19-21页
     ·脉冲激光沉积法(PLD)第21-22页
     ·实验过程第22-23页
   ·结构与性能测试方法第23-27页
     ·X 射线衍射(XRD)第23-24页
     ·反射式高能电子衍射(RHEED)第24页
     ·原子力显微镜(AFM)第24-25页
     ·四探针电阻测试仪(FFP)第25-26页
     ·铁电性能测试第26-27页
   ·结果与讨论第27-33页
   ·小结第33-34页
第3章 退火氧压对LNO 和LSCO 薄膜结构和输运性质的影响第34-45页
   ·退火氧压对LNO 薄膜结构和输运性质的影响第34-38页
     ·实验第34页
     ·结果与讨论第34-38页
   ·退火氧压对LSCO 薄膜结构和输运性质的影响第38-43页
     ·实验第38页
     ·结果与讨论第38-43页
   ·小结第43-45页
第4章 LSCO 底电极退火氧压对LSCO/PZT/LSCO 结构和性能的影响第45-53页
   ·实验第45-46页
   ·结果与讨论第46-52页
   ·小结第52-53页
结束语第53-55页
参考文献第55-62页
致谢第62-63页
攻读硕士期间发表的学术论文第63页

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