| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·课题研究 | 第9-10页 |
| ·课题研究来源 | 第9页 |
| ·研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外发展现状 | 第10-11页 |
| ·国外发展现状 | 第10-11页 |
| ·国内研究现状 | 第11页 |
| ·展望 | 第11页 |
| ·主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 厚度测量方法及设计方案 | 第13-17页 |
| ·测厚技术 | 第13-15页 |
| ·总体设计思路 | 第15页 |
| ·总体结构布局 | 第15-17页 |
| ·系统的组成 | 第15页 |
| ·总体结构布局 | 第15-17页 |
| 第三章 激光三角法 | 第17-25页 |
| ·激光三角法原理分析 | 第17-25页 |
| ·激光三角法测量的类型及区别 | 第17-18页 |
| ·激光三角法测量基本原理 | 第18-24页 |
| ·Seheimpflug Condition(沙姆条件) | 第24-25页 |
| 第四章 光学系统及 CCD的选择 | 第25-33页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·光源 | 第25-26页 |
| ·聚焦系统与成像系统 | 第26-29页 |
| ·聚焦透镜 | 第26-28页 |
| ·成像透镜 | 第28-29页 |
| ·光电转换器件 CCD | 第29-31页 |
| ·CCD简介 | 第29页 |
| ·线阵 CCD型号指标 | 第29-31页 |
| ·CCD应用于平板厚度检测 | 第31-33页 |
| ·基本原理 | 第31-32页 |
| ·平板厚度检测系统 | 第32-33页 |
| 第五章 测量模型和实验系统 | 第33-50页 |
| ·测量模型 | 第33-38页 |
| ·激光三角法测量绝对厚度 | 第33-35页 |
| ·LK-G选取的型号 | 第35-38页 |
| ·LK-G测量系统原理 | 第38-39页 |
| ·测厚系统系列实验 | 第39-45页 |
| ·实验装置 | 第39-41页 |
| ·测量步骤 | 第41页 |
| ·测量结果 | 第41-43页 |
| ·数据分析 | 第43-45页 |
| ·系统的标定 | 第45-50页 |
| ·标定的方法 | 第45-50页 |
| 第六章 误差与精度分析 | 第50-55页 |
| ·误差分析 | 第50-53页 |
| ·系统误差分析 | 第50-52页 |
| ·随机误差分析 | 第52-53页 |
| ·精度分析 | 第53-54页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |