光刻机温度控制装置的设计与实现
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题背景 | 第10-11页 |
| ·光刻机温度控制概述 | 第11-16页 |
| ·控制算法简介 | 第16-18页 |
| ·本论文研究主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 光刻机的结构及控制要求 | 第19-29页 |
| ·光刻机的系统结构 | 第19-27页 |
| ·曝光分系统 | 第20-21页 |
| ·工件台掩模台分系统 | 第21-22页 |
| ·对准分系统 | 第22-23页 |
| ·硅片传输分系统 | 第23页 |
| ·掩模传输分系统 | 第23页 |
| ·调焦调平分系统 | 第23-24页 |
| ·整机测校分系统 | 第24页 |
| ·整机框架分系统 | 第24-25页 |
| ·整机控制分系统 | 第25页 |
| ·整机软件分系统 | 第25-26页 |
| ·整机微环境分系统 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 精密温度控制系统设计 | 第29-52页 |
| ·TCU控制原理 | 第29-30页 |
| ·TCU模型的建立 | 第30-39页 |
| ·阶跃响应下系统的特性 | 第30-32页 |
| ·实验数据的采集 | 第32-33页 |
| ·模型结构确定 | 第33页 |
| ·离线辨识 | 第33-37页 |
| ·在线辨识 | 第37-38页 |
| ·误差分析及结论 | 第38-39页 |
| ·控制算法的实现 | 第39-51页 |
| ·控制算法的基本过程 | 第39-41页 |
| ·控制算法的原理分析 | 第41-43页 |
| ·控制装置的结构原理 | 第43-44页 |
| ·控制算法的实现过程 | 第44-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 精密温度控制装置硬件结构 | 第52-60页 |
| ·温度控制单元的硬件结构与功能的设计方案 | 第53-56页 |
| ·控制单元的硬件结构设计 | 第53-54页 |
| ·控制单元的功能设计 | 第54-56页 |
| ·管路原理和机械结构设计方案 | 第56-58页 |
| ·管路原理设计方案 | 第56-57页 |
| ·机械结构设计方案 | 第57-58页 |
| ·半导体制冷器设计方案 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章 精密温度控制装置实施及效果 | 第60-63页 |
| ·高精度温度控制装置主要技术指标 | 第60-61页 |
| ·高精密温度控制装置实施应用 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第6章 总结及展望 | 第63-66页 |
| ·总结 | 第63-64页 |
| ·创新点 | 第64页 |
| ·展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69页 |
