米级碳纳米管薄膜制备及全透明薄膜晶体管器件
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-32页 |
| 1.1 碳纳米管的结构及物理性质 | 第10-17页 |
| 1.2 碳纳米管的制备方法 | 第17-19页 |
| 1.3 碳纳米管薄膜的光电性质 | 第19-21页 |
| 1.4 碳纳米管薄膜的制备方法 | 第21-27页 |
| 1.5 碳纳米管薄膜在电子器件中的应用 | 第27-30页 |
| 1.6 本论文的研究内容和意义 | 第30-32页 |
| 第2章 实验方法 | 第32-38页 |
| 2.1 实验药品 | 第32-33页 |
| 2.2 实验设备 | 第33-38页 |
| 第3章 米级碳纳米管薄膜的宏量制备 | 第38-58页 |
| 3.1 引言 | 第38-39页 |
| 3.2 气相抽滤法制备大面积碳纳米管薄膜 | 第39-43页 |
| 3.3 气相抽滤过程的有限元仿真 | 第43-49页 |
| 3.4 大面积碳纳米管薄膜的性能表征 | 第49-56页 |
| 3.5 小结 | 第56-58页 |
| 第4章 碳纳米管薄膜晶体管的制备与性能表征 | 第58-80页 |
| 4.1 引言 | 第58-61页 |
| 4.2 碳纳米管薄膜晶体管的结构与制备 | 第61-63页 |
| 4.3 碳纳米管薄膜晶体管性能的影响因素 | 第63-78页 |
| 4.3.1 碳纳米管薄膜密度的优化 | 第64-69页 |
| 4.3.2 沟道尺寸的优化 | 第69-75页 |
| 4.3.3 半导体性碳纳米管含量的调控 | 第75-78页 |
| 4.4 小结 | 第78-80页 |
| 第5章 碳纳米管薄膜在柔性透明电子器件中的应用 | 第80-108页 |
| 5.1 引言 | 第80-81页 |
| 5.2 柔性透明全碳器件的制备 | 第81-90页 |
| 5.2.1 柔性基板的选择与预处理 | 第81-84页 |
| 5.2.2 碳纳米管薄膜的转移方法 | 第84-85页 |
| 5.2.3 Al_2O_3绝缘层的制备与刻蚀 | 第85-87页 |
| 5.2.4 全碳柔性器件的版图设计与制备工艺 | 第87-90页 |
| 5.3 柔性透明全碳器件的性能表征 | 第90-106页 |
| 5.3.1 全碳薄膜晶体管 | 第91-93页 |
| 5.3.2 反相器 | 第93-96页 |
| 5.3.3 逻辑门 | 第96-100页 |
| 5.3.4 环形振荡器 | 第100-103页 |
| 5.3.5 全碳柔性透明OLED显示驱动电路 | 第103-106页 |
| 5.4 柔性器件的弯曲性能 | 第106-107页 |
| 5.5 小结 | 第107-108页 |
| 第6章 结论与展望 | 第108-110页 |
| 6.1 结论 | 第108-109页 |
| 6.2 展望 | 第109-110页 |
| 参考文献 | 第110-130页 |
| 致谢 | 第130-132页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第132页 |
