摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-8页 |
第1章 文献综述 | 第12-26页 |
1.1 引言 | 第12-13页 |
1.2 气敏传感器概述 | 第13-23页 |
1.2.1 基于金属氧化物半导体气体传感器的简介 | 第14-15页 |
1.2.2 金属氧化物气传感器的应用 | 第15页 |
1.2.3 金属氧化物半导体气体传感器性能评价标准 | 第15-19页 |
1.2.4 金属氧化物气体传感器的气敏机理 | 第19-22页 |
1.2.5 气敏传感器的发展趋势 | 第22-23页 |
1.3 锌锡复合材料的研究进展 | 第23-24页 |
1.3.1 锌锡复合材料的研究意义 | 第23页 |
1.3.2 锌锡复合材料的研究现状及存在的问题 | 第23-24页 |
1.4 本课题的研究思路、内容及创新点 | 第24-26页 |
第2章 不同形貌ZnSn(OH)_6 实心材料的制备及其衍生物Zn_2SnO_4/SnO_2气敏性能的研究 | 第26-49页 |
引言 | 第26页 |
2.1 实验部分 | 第26-28页 |
2.1.1 实验药品 | 第26-27页 |
2.1.2 实验仪器 | 第27-28页 |
2.2 材料的形貌和结构表征 | 第28-29页 |
2.3 不同形貌羟基锡酸锌ZnSn(OH)_6及其衍生物Zn_2SnO_4/SnO_2制备 | 第29-30页 |
2.4 材料的表征与分析 | 第30-38页 |
2.4.1 材料的TG、XRD及EDS表征 | 第30-32页 |
2.4.2 材料的SEM及TEM表征 | 第32-35页 |
2.4.3 材料的UV及BET表征 | 第35-38页 |
2.5 气敏元件的制备及气敏性能测试 | 第38-42页 |
2.5.1 元件制备 | 第38-39页 |
2.5.2 气敏性能测试 | 第39-42页 |
2.6 结构及气敏性能的探讨 | 第42-46页 |
2.6.1 形貌差异性的机理探讨 | 第42-44页 |
2.6.2 气敏性能与材料结构之间的机理探讨 | 第44-45页 |
2.6.3 气敏选择性机理探讨 | 第45-46页 |
2.7 本章小结 | 第46-49页 |
第3章 一步法合成羟基锡酸锌空心立方体及其衍生物偏锡酸锌气敏性能研究 | 第49-60页 |
引言 | 第49页 |
3.1 羟基锡酸锌空心方体及衍生物偏锡酸锌的制备 | 第49-50页 |
3.1.1 实验原料 | 第49页 |
3.1.2 实验方案 | 第49-50页 |
3.2 材料的表征与分析 | 第50-55页 |
3.2.1 ZnSnO_3的SEM及TEM测试表征及结构分析 | 第50-51页 |
3.2.2 前驱体ZnSn(OH)_6及衍生物ZnSnO_3的XRD衍射及FR分析 | 第51-53页 |
3.2.3 ZnSnO_3的DRS、BET及BJH分析 | 第53-55页 |
3.3 偏锡酸锌空心立方体的气敏性能研究 | 第55-58页 |
3.4 本章小结 | 第58-60页 |
第4章 选择性刻蚀ZnSnO_3空心立方体及其对甲醛和乙醇气敏性能的研究 | 第60-71页 |
引言 | 第60页 |
4.1 实验部分 | 第60-62页 |
4.1.1 HCl选择性刻蚀-ZnSnO_3空心立方体 | 第60-61页 |
4.1.2 EDX、SEM及TEM分析 | 第61-62页 |
4.2 气敏性能的测试 | 第62-68页 |
4.2.1 对甲醛气体的敏感性能研究 | 第63-66页 |
4.2.2 对乙醇气体的敏感性能研究 | 第66-68页 |
4.3 结果与讨论 | 第68-69页 |
4.4 本章小结 | 第69-71页 |
第5章 总结与展望 | 第71-74页 |
参考文献 | 第74-82页 |
附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第82页 |
附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第82-84页 |
致谢 | 第84页 |