| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第15-37页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| 1.2 课题相关内容的国内外研究现状 | 第16-34页 |
| 1.2.1 超精密加工机床的发展现状 | 第16-18页 |
| 1.2.2 几何误差建模及测量技术的研究现状 | 第18-25页 |
| 1.2.3 几何误差敏感性分析的研究现状 | 第25-29页 |
| 1.2.4 面形误差在位测量及在位补偿技术的研究现状 | 第29-34页 |
| 1.3 现有研究现状的分析 | 第34-35页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第35-37页 |
| 第2章 三轴超精密车床几何误差建模及误差测量 | 第37-65页 |
| 2.1 引言 | 第37页 |
| 2.2 三轴超精密车床的空间几何误差建模 | 第37-50页 |
| 2.2.1 三轴超精密车床的系统组成与精度保证 | 第37-39页 |
| 2.2.2 三轴超精密车床的拓扑结构 | 第39-41页 |
| 2.2.3 三轴超精密车床各轴系的几何误差分析及建模 | 第41-48页 |
| 2.2.4 三轴超精密车床的空间几何误差模型 | 第48-50页 |
| 2.3 三轴超精密车床几何误差的测量 | 第50-62页 |
| 2.3.1 直线轴系几何误差的测量 | 第51-54页 |
| 2.3.2 回转轴系几何误差的测量 | 第54-60页 |
| 2.3.3 轴系间垂直度误差的测量 | 第60-62页 |
| 2.4 三轴超精密车床几何误差的测量结果分析 | 第62-64页 |
| 2.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第3章 三轴超精密车床的几何误差敏感性分析 | 第65-85页 |
| 3.1 引言 | 第65页 |
| 3.2 基于Sobol方法的几何误差敏感性分析 | 第65-71页 |
| 3.2.1 几何误差敏感性分析方法的选择 | 第65-67页 |
| 3.2.2 三轴超精密车床的几何误差范围 | 第67页 |
| 3.2.3 Sobol方法在三轴超精密车床几何误差模型中的应用 | 第67-70页 |
| 3.2.4 MonteCarlo估算 | 第70-71页 |
| 3.3 三轴超精密车床加工空间内的几何误差敏感性分析 | 第71-79页 |
| 3.3.1 X方向误差分量的敏感性系数 | 第72-75页 |
| 3.3.2 Y方向误差分量的敏感性系数 | 第75-76页 |
| 3.3.3 Z方向误差分量的敏感性系数 | 第76-77页 |
| 3.3.4 空间误差模型的敏感性系数 | 第77-79页 |
| 3.4 针对典型工件轮廓的几何误差敏感性分析 | 第79-82页 |
| 3.5 几何误差敏感性分析结果讨论 | 第82-84页 |
| 3.6 本章小结 | 第84-85页 |
| 第4章 基于白光共焦技术的在位测量及补偿系统 | 第85-110页 |
| 4.1 引言 | 第85页 |
| 4.2 在位测量及在位补偿系统的研制 | 第85-93页 |
| 4.2.1 在位测量系统的研制 | 第86-88页 |
| 4.2.2 在位测量系统的软件设计与开发 | 第88-91页 |
| 4.2.3 在位补偿系统的软件设计与开发 | 第91-93页 |
| 4.3 在位测量系统的测量原理和三维形貌重构方法 | 第93-97页 |
| 4.3.1 基于双标准球的空间相对位置标定方法 | 第93-95页 |
| 4.3.2 工件轮廓的在位测量方法 | 第95-96页 |
| 4.3.3 三维轮廓表面的重构方法 | 第96-97页 |
| 4.4 在位测量系统的测量精度标定 | 第97-108页 |
| 4.4.1 在位测量系统噪声水平的标定 | 第97-99页 |
| 4.4.2 在位测量系统传感器测量精度的标定 | 第99-100页 |
| 4.4.3 在位测量系统测量精度的标定 | 第100-105页 |
| 4.4.4 测量结果的不确定度分析 | 第105-108页 |
| 4.5 本章小结 | 第108-110页 |
| 第5章 面形误差的在位补偿技术研究及实验验证 | 第110-135页 |
| 5.1 引言 | 第110页 |
| 5.2 三轴超精密车床重要敏感几何误差项的补偿方法 | 第110-115页 |
| 5.2.1 X轴与C轴垂直度误差βcx的补偿方法 | 第111页 |
| 5.2.2 X轴与Z轴垂直度误差βzx的补偿方法 | 第111-113页 |
| 5.2.3 定位误差δxx和δzz的补偿方法 | 第113-114页 |
| 5.2.4 重要敏感几何误差补偿方法的有效性验证 | 第114-115页 |
| 5.3 面形误差的在位补偿方法研究 | 第115-125页 |
| 5.3.1 刀具圆弧半径对面形误差的影响 | 第115-118页 |
| 5.3.2 刀具对刀误差对面形误差的影响 | 第118-122页 |
| 5.3.3 工件面形误差的在位补偿方法 | 第122-125页 |
| 5.4 在位误差补偿方法的有效性验证 | 第125-133页 |
| 5.4.1 面形误差的在位误差补偿实验 | 第125-126页 |
| 5.4.2 在位补偿实验结果分析及讨论 | 第126-133页 |
| 5.5 本章小结 | 第133-135页 |
| 结论 | 第135-138页 |
| 参考文献 | 第138-148页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第148-150页 |
| 致谢 | 第150-151页 |
| 个人简历 | 第151页 |
