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基于光程差调制的角度位移同步测量方法研究

摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-10页
第1章 引言第10-15页
   ·选题依据和背景情况第10页
   ·研究目的和意义第10-11页
   ·国内外研究现状、发展动态第11-12页
   ·理论意义和实际应用价值第12-13页
   ·课题研究内容及特点第13-14页
   ·本章小结第14-15页
第2章 基于干涉条纹形状的角位移测量原理第15-23页
   ·测量原理简介及技术指标第15页
   ·干涉条纹形成光路分析第15-17页
   ·基于光楔运动的光程差调制第17-20页
     ·光路设计第18-19页
     ·光楔驱动方法第19-20页
   ·光程差调制的 PZT 驱动第20-22页
   ·本章小结第22-23页
第3章 系统的硬件设计与实现第23-39页
   ·基于光程差调制技术的总体方案设计第23-24页
   ·光楔调制光程差的实现第24-29页
     ·光楔调制干涉条纹运动方程的理论分析第24-25页
     ·音圈电机驱动程序设计第25-27页
     ·光楔调制系统实验结果(系数 K 的求解)第27-29页
   ·PZT 驱动调制的实现第29-35页
     ·PI-PZT 驱动电路第29-32页
     ·PI-PZT 线性度特性曲线测试第32-33页
     ·光电转换电路对信号的处理第33-35页
   ·圆形光电管各象限信号相位理论仿真第35-37页
   ·测量系统实验平台第37-38页
   ·本章小结第38-39页
第4章 干涉条纹的接收与处理第39-58页
   ·条纹形状参数的分析与获取第39-40页
   ·干涉条纹信号相差的硬件处理第40-46页
     ·光电信号的预处理第40-41页
     ·模拟电路相差处理思想第41-44页
     ·硬件电路原理图设计第44-45页
     ·实验结果分析第45-46页
   ·干涉条纹信号相差的软件处理第46-52页
     ·李萨如图对信号相差获取的分析第47-48页
     ·实验数据采集的同步处理第48-50页
     ·高精度相差算法的实现第50-52页
   ·信号数字滤波处理第52-53页
   ·线位移的测量过程第53-57页
     ·脉冲信号产生电路第54-55页
     ·位移干涉条纹信号分析第55-57页
   ·本章小结第57-58页
第5章 实验结果与误差分析第58-69页
   ·角度测量结果分析第58-65页
     ·二维角位移的测量结果与自准直仪测量的比对第58-63页
     ·误差分析第63-65页
   ·同步位移测量结果分析第65-68页
     ·线位移测量结果第65-66页
     ·误差分析第66-68页
   ·本章小结第68-69页
第6章 全文总结与展望第69-71页
   ·全文总结第69-70页
   ·展望及今后工作的建议第70-71页
参考文献第71-75页
致谢第75-76页
附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文第76-77页
附录 2 测量系统部分电路原理图第77-79页
附录 3 测量系统实验平台照片第79-80页

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