基于光程差调制的角度位移同步测量方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-15页 |
| ·选题依据和背景情况 | 第10页 |
| ·研究目的和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状、发展动态 | 第11-12页 |
| ·理论意义和实际应用价值 | 第12-13页 |
| ·课题研究内容及特点 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第2章 基于干涉条纹形状的角位移测量原理 | 第15-23页 |
| ·测量原理简介及技术指标 | 第15页 |
| ·干涉条纹形成光路分析 | 第15-17页 |
| ·基于光楔运动的光程差调制 | 第17-20页 |
| ·光路设计 | 第18-19页 |
| ·光楔驱动方法 | 第19-20页 |
| ·光程差调制的 PZT 驱动 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 系统的硬件设计与实现 | 第23-39页 |
| ·基于光程差调制技术的总体方案设计 | 第23-24页 |
| ·光楔调制光程差的实现 | 第24-29页 |
| ·光楔调制干涉条纹运动方程的理论分析 | 第24-25页 |
| ·音圈电机驱动程序设计 | 第25-27页 |
| ·光楔调制系统实验结果(系数 K 的求解) | 第27-29页 |
| ·PZT 驱动调制的实现 | 第29-35页 |
| ·PI-PZT 驱动电路 | 第29-32页 |
| ·PI-PZT 线性度特性曲线测试 | 第32-33页 |
| ·光电转换电路对信号的处理 | 第33-35页 |
| ·圆形光电管各象限信号相位理论仿真 | 第35-37页 |
| ·测量系统实验平台 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 干涉条纹的接收与处理 | 第39-58页 |
| ·条纹形状参数的分析与获取 | 第39-40页 |
| ·干涉条纹信号相差的硬件处理 | 第40-46页 |
| ·光电信号的预处理 | 第40-41页 |
| ·模拟电路相差处理思想 | 第41-44页 |
| ·硬件电路原理图设计 | 第44-45页 |
| ·实验结果分析 | 第45-46页 |
| ·干涉条纹信号相差的软件处理 | 第46-52页 |
| ·李萨如图对信号相差获取的分析 | 第47-48页 |
| ·实验数据采集的同步处理 | 第48-50页 |
| ·高精度相差算法的实现 | 第50-52页 |
| ·信号数字滤波处理 | 第52-53页 |
| ·线位移的测量过程 | 第53-57页 |
| ·脉冲信号产生电路 | 第54-55页 |
| ·位移干涉条纹信号分析 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 实验结果与误差分析 | 第58-69页 |
| ·角度测量结果分析 | 第58-65页 |
| ·二维角位移的测量结果与自准直仪测量的比对 | 第58-63页 |
| ·误差分析 | 第63-65页 |
| ·同步位移测量结果分析 | 第65-68页 |
| ·线位移测量结果 | 第65-66页 |
| ·误差分析 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 全文总结与展望 | 第69-71页 |
| ·全文总结 | 第69-70页 |
| ·展望及今后工作的建议 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第76-77页 |
| 附录 2 测量系统部分电路原理图 | 第77-79页 |
| 附录 3 测量系统实验平台照片 | 第79-80页 |