| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第12页 |
| 1.2 LIBS 及 Micro-LIBS 技术 | 第12-16页 |
| 1.2.1 LIBS 技术原理及应用 | 第13-14页 |
| 1.2.2 Micro-LIBS 技术原理及应用 | 第14-16页 |
| 1.3 Micro-LIBS 技术分析中三维电动扫描位移台现状 | 第16-23页 |
| 1.3.1 电动位移平台国外现状 | 第17-19页 |
| 1.3.2 电动位移平台国内现状 | 第19-22页 |
| 1.3.3 小结 | 第22-23页 |
| 1.4 论文主要工作和内容 | 第23-24页 |
| 2 Micro-LIBS 三维精密扫描系统整体设计 | 第24-32页 |
| 2.1 三维精密扫描系统硬件设计 | 第25-28页 |
| 2.1.1 三维精密扫描平台的搭建 | 第25-27页 |
| 2.1.2 三维精密扫描电动平台驱动器 | 第27-28页 |
| 2.2 三维精密扫描系统软件设计 | 第28-30页 |
| 2.2.1 下位机控制设计 | 第28-29页 |
| 2.2.2 上位机控制设计 | 第29-30页 |
| 2.3 电动平台控制系统的评价方法 | 第30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-32页 |
| 3 Micro-LIBS 三维精密扫描系统硬件设计与实现 | 第32-46页 |
| 3.1 主控制器 | 第33-40页 |
| 3.1.1 STM32F103VCT6 单片机 | 第33-34页 |
| 3.1.2 RS232 串口通信电路设计 | 第34-36页 |
| 3.1.3 脉宽调制 PWM 波形产生 | 第36-37页 |
| 3.1.4 STM32 外部中断设置 | 第37-38页 |
| 3.1.5 STM32 启动设置 | 第38-39页 |
| 3.1.6 STM32 时钟配置 | 第39-40页 |
| 3.2 STM32 程序设计流程 | 第40-44页 |
| 3.2.1 STM32 串口数据帧格式 | 第41-42页 |
| 3.2.2 STM32 串口命令协议 | 第42-43页 |
| 3.2.3 限位参考点定位程序设计 | 第43-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 4 Micro-LIBS 三维精密扫描系统软件设计与实现 | 第46-60页 |
| 4.1 LabVIEW 与串口通信 | 第47-49页 |
| 4.1.1 VISA 串口 VI 介绍 | 第47页 |
| 4.1.2 VISA 串口程序开发流程 | 第47-49页 |
| 4.1.3 VISA 串口程序 | 第49页 |
| 4.2 基于图像处理的聚焦评价 | 第49-56页 |
| 4.2.1 LabVIEW 机器视觉开发 | 第49-50页 |
| 4.2.2 图像的获取 | 第50-51页 |
| 4.2.3 RGB 与 YUV 和灰度空间的相互转换 | 第51页 |
| 4.2.4 图像预处理 | 第51-52页 |
| 4.2.5 聚焦评价算法的实现 | 第52-54页 |
| 4.2.6 聚焦评价算法评价结果 | 第54-56页 |
| 4.3 聚焦点定位搜索 | 第56-58页 |
| 4.3.1 Fibonacci 定位搜索算法 | 第57页 |
| 4.3.2 爬山算法 | 第57-58页 |
| 4.3.3 聚焦点定位搜索 | 第58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 5 Micro-LIBS 三维精密扫描系统功能测试 | 第60-68页 |
| 5.1 Micro-LIBS 三维精密扫描系统控制软件 | 第60-61页 |
| 5.2 Micro-LIBS 三维精密扫描硬件系统硬件 | 第61-65页 |
| 5.2.1 SGSP60-5ZF 电动升降台位移精度测量结果 | 第62-63页 |
| 5.2.2 KS201-30R 精密 X-Y 轴微调电动滑台位移精度测量结果 | 第63页 |
| 5.2.3 Micro-LIBS 三维精密扫描系统 Z 轴聚焦测试 | 第63-65页 |
| 5.3 Micro-LIBS 三维精密扫描系统整体测试 | 第65-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 附录一 | 第74-75页 |
| 附录二 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文 | 第78-79页 |
