| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 反扩散火焰研究 | 第11-15页 |
| 1.2.1 反扩散火焰研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 反扩散火焰温度分布及传热特性 | 第13-15页 |
| 1.3 本文的研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 非预混火焰理论 | 第17-29页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 H_2-O2_系统的化学机理 | 第17-18页 |
| 2.3 火焰中化学反应流的数学物理模型 | 第18-23页 |
| 2.3.1 总质量守恒 | 第18-19页 |
| 2.3.2 组分连续性 | 第19-20页 |
| 2.3.3 动量守恒 | 第20-22页 |
| 2.3.4 能量守恒 | 第22-23页 |
| 2.4 射流非预混火焰 | 第23-28页 |
| 2.4.1 层流非预混火焰理论 | 第24-26页 |
| 2.4.2 湍流非预混火焰理论 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 立式 CVD 沉积过程数值模拟 | 第29-41页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 CVD 沉积炉的几何模型 | 第29-31页 |
| 3.3 计算结果与分析 | 第31-37页 |
| 3.4 各环气流量对沉积面温度影响分析 | 第37-39页 |
| 3.5 沉积炉火焰区域各组分分析 | 第39-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 立式 CVD 沉积炉结构以及运行参数的优化 | 第41-69页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 实验方案的设计 | 第41-42页 |
| 4.2.1 正交实验法 | 第41页 |
| 4.2.2 简单对比法 | 第41-42页 |
| 4.3 对炉膛结构的优化 | 第42-67页 |
| 4.3.1 燃烧器偏心距 | 第42-44页 |
| 4.3.2 沉积体转速 | 第44-48页 |
| 4.3.3 灯距 | 第48-51页 |
| 4.3.4 燃烧器周围开口 | 第51-56页 |
| 4.3.5 炉膛底部开口 | 第56-63页 |
| 4.3.6 排气口位置 | 第63-67页 |
| 4.4 对各环气体流量的优化 | 第67-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |