Contents | 第7-10页 |
摘要 | 第10-12页 |
Abstract | 第12-13页 |
第1章 绪论 | 第14-24页 |
1.1 缓蚀剂的含义 | 第14页 |
1.2 缓蚀剂的分类 | 第14-16页 |
1.2.1 根据化学组成分类 | 第14页 |
1.2.2 根据对电极过程影响分类 | 第14-15页 |
1.2.3 根据成膜机理分类 | 第15-16页 |
1.2.4 其他分类方式 | 第16页 |
1.3 咪唑啉类缓蚀剂的研究情况 | 第16-21页 |
1.3.1 基本介绍 | 第16-17页 |
1.3.2 国外发展 | 第17-18页 |
1.3.3 国内发展 | 第18-19页 |
1.3.4 机理研究 | 第19-21页 |
1.4 缓蚀性能的评价方法 | 第21-23页 |
1.4.1 重量法 | 第21-22页 |
1.4.2 塔菲尔曲线法 | 第22页 |
1.4.3 交流阻抗法 | 第22页 |
1.4.4 扫描电镜(SEM) | 第22-23页 |
1.4.5 其它方法 | 第23页 |
1.5 研究目的、意义、创新点 | 第23-24页 |
第2章 实验方案 | 第24-32页 |
2.1 主要仪器试剂 | 第24页 |
2.1.1 主要仪器 | 第24页 |
2.1.2 主要试剂 | 第24页 |
2.2 失重法 | 第24-32页 |
2.2.1 标准 | 第24-25页 |
2.2.2 方法原理 | 第25-26页 |
2.2.3 试片制备 | 第26页 |
2.2.4 试片清洗和称量 | 第26-27页 |
2.2.5 盐酸的配制 | 第27页 |
2.2.6 缓蚀率测定步骤 | 第27-29页 |
2.2.7 计算 | 第29-32页 |
第3章 2-苯基-2-咪唑啉的缓蚀性能分析 | 第32-46页 |
3.1 2-苯基-2-咪唑啉的溶解性实验 | 第32页 |
3.2 单独使用2-苯基-2-咪唑啉 | 第32-35页 |
3.3 单独使用硫脲 | 第35-37页 |
3.4 2-苯基-2-咪唑啉和硫脲的复配性能检验 | 第37-38页 |
3.5 单独使用六次甲基四胺 | 第38-40页 |
3.6 2-苯基-2-咪唑啉和六次甲基四胺的复配性能检验 | 第40-41页 |
3.7 关于2-苯基-2-咪唑啉的正交实验 | 第41-44页 |
3.8 本章小结 | 第44-46页 |
第4章 一系列油酸咪唑啉的缓蚀性能分析 | 第46-60页 |
4.1 油酸咪唑啉介绍 | 第46页 |
4.2 1号咪唑啉 | 第46-48页 |
4.3 2号咪唑啉 | 第48-50页 |
4.4 3号咪唑啉 | 第50-51页 |
4.5 4号咪唑啉 | 第51-53页 |
4.6 四种咪唑啉的进一步选择 | 第53-54页 |
4.7 3号咪唑啉和硫脲的复配性能检验 | 第54-55页 |
4.8 3号咪唑啉和六次甲基四胺的复配性能检验 | 第55-56页 |
4.9 3号咪唑啉和碘化钾的复配性能检验 | 第56-57页 |
4.10 3号咪唑啉和丙炔醇的复配性能检验 | 第57-58页 |
4.11 本章小结 | 第58-60页 |
第5章 结论、经验、不足及展望 | 第60-62页 |
5.1 结论 | 第60页 |
5.2 经验 | 第60-61页 |
5.3 不足 | 第61页 |
5.4 展望 | 第61-62页 |
参考文献 | 第62-66页 |
致谢 | 第66-68页 |
攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第68-69页 |
学位论文评阅及答辩情况表 | 第69页 |